[实用新型]一种激光晶圆切割后清洗吹干装置

权利要求书

1.一种激光晶圆切割后清洗吹干装置，包括箱体（1）、控制器（22）和电机（25），其特征在于：所述箱体（1）上部设置有进料口（2），且进料口（2）下端设置有过滤板（3），过滤板（3）下端设置有残渣抽屉（4），且残渣抽屉（4）内部安装有抽屉过滤网（5），残渣抽屉（4）左侧设置有抽屉把手（6），且抽屉把手（6）下端设置有进水口（8），进水口（8）设置在水箱（7）左端，水箱（7）左端上部设置有上水管（9），且上水管（9）连接在水泵（10）上，水泵（10）下端设置分水管（11），分水管（11）左端通过水管连接有第一冲洗器（12），且第一冲洗器（12）下端设置第一冲洗喷头（13），分水管（11）右端通过水管连接有第二冲洗器（14），且第二冲洗器（14）下端设置第二冲洗喷头（15），箱体（1）下端设置有支架（29）。

2.根据权利要求1所述的一种激光晶圆切割后清洗吹干装置，其特征在于：所述第一冲洗器（12）右侧设置有第一清洗刷（16），第二冲洗器（14）右端设置有第二清洗刷（17），第一清洗刷（16）和第二清洗刷（17）下端安装有刷头，并且刷头上端设置可拆卸结构。

3.根据权利要求1所述的一种激光晶圆切割后清洗吹干装置，其特征在于：所述箱体（1）上端右侧设置有吹水机（18），且吹水机（18）下端设置有吹水管道（19），吹水管道（19）下端设置有吹水口（20），吹水机（18）右侧设置有吹水机散热窗（21）。

4.根据权利要求1所述的一种激光晶圆切割后清洗吹干装置，其特征在于：所述控制器（22）设置在箱体（1）右侧上端，且控制器（22）电性连接水泵（10）和电机（25），控制器（22）下端设置有出料口（23），且出料口（23）下端设置有出料辅助板（24）。

5.根据权利要求1所述的一种激光晶圆切割后清洗吹干装置，其特征在于：所述电机（25）通过轴杆连接运输辊（26），且运输辊（26）上安装有皮带（27），且皮带（27）上端安装有运输带（28），运输带（28）为耐热橡胶材质。

6.根据权利要求1所述的一种激光晶圆切割后清洗吹干装置，其特征在于：所述过滤板（3）为不锈钢材质的蜂窝结构，厚度为5cm,蜂窝结构小孔的半径为3cm，并且过滤板（3）中间设置Z形转折块，Z形转折块为不锈钢材质实心结构。