[实用新型]一种新型碳化硅烤箱

权利要求书

1.一种新型碳化硅烤箱，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）内设有内罩（2），所述内罩（2）与所述箱体（1）的内壁构成空腔（3），所述箱体（1）上端设有热风总管（4），所述空腔（3）内设有连通所述热风总管（4）的热风支管（5），所述箱体（1）的底壁开设有热风通道（6），且所述热风支管（5）的下端连通所述热风通道（6），所述箱体（1）的内底壁上开设有多个连接所述热风通道（6）的出风孔（7）。

2.根据权利要求1所述的一种新型碳化硅烤箱，其特征在于：所述箱体（1）内底壁上开设有凹槽（8），所述凹槽（8）内设有电机（9），所述电机（9）的输出轴位于所述凹槽（8）外并连接有载物台（10），所述载物台（10）开设有若干个通孔，所述载物台（10）与所述箱体（1）的内底壁之间具有间隙。

3.根据权利要求2所述的一种新型碳化硅烤箱，其特征在于：所述箱体（1）的内底壁为中心高边缘低的锥形面（11），所述锥形面（11）上位于所述凹槽（8）的外侧开设有环形滑槽（12），所述载物台（10）的底壁设有至少两个适配所述环形滑槽（12）的滑轮（13），所述滑轮（13）位于所述环形滑槽（12）内并可以在所述环形滑槽（12）内滚动。

4.根据权利要求1所述的一种新型碳化硅烤箱，其特征在于：所述内罩（2）的侧壁开设有多个连接所述空腔（3）的散热孔（14），所述箱体（1）上设有连通所述空腔（3）的排水管（15），所述排水管（15）位于所述箱体（1）外的管道上设有阀门。

5.根据权利要求1所述的一种新型碳化硅烤箱，其特征在于：所述内罩（2）的顶壁还设有热能灯（16）。

6.根据权利要求2所述的一种新型碳化硅烤箱，其特征在于：所述内罩（2）的侧壁上设有固定板（17），所述固定板（17）上开设有插孔，所述插孔内插装有适配所述通孔尺寸的插销（18）。

7.根据权利要求6所述的一种新型碳化硅烤箱，其特征在于：所述插销（18）的上端设有连接绳（19），所述连接绳（19）的另一端固定连接所述内罩（2）的侧壁。