[实用新型]一种用于固晶机的晶片托盘

权利要求书

1.一种用于固晶机的晶片托盘，包括底架（1），其特征在于：所述底架（1）的上表面固定安装有底座（2），所述底座（2）的上方设置有支撑台（3），所述支撑台（3）的上表面设置有固定套（4），所述底架（1）的底部固定安装有柔性垫（5）。

2.根据权利要求1所述的一种用于固晶机的晶片托盘，其特征在于：所述底座（2）的侧面固定安装有固定环（6），所述底座（2）的上表面开设有滑槽（8），所述支撑台（3）的底部固定安装有滑板（9）。

3.根据权利要求2所述的一种用于固晶机的晶片托盘，其特征在于：所述滑槽（8）的底部固定安装有减震弹簧（12），所述减震弹簧（12）的上端与滑板（9）固定连接，所述滑板（9）的外表面与滑槽（8）滑动连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于固晶机的晶片托盘，其特征在于：所述支撑台（3）的正面开设有螺纹孔（14），所述支撑台（3）的背对滑板（9）的一侧开设有若干个凹槽（15），所述凹槽（15）的内表面与固定套（4）的底部插接。

5.根据权利要求4所述的一种用于固晶机的晶片托盘，其特征在于：所述支撑台（3）的正面设置有旋钮（7），所述旋钮（7）的面对支撑台（3）的一侧固定安装有螺纹杆（13），所述螺纹杆（13）的外表面与螺纹孔（14）螺纹连接，所述螺纹杆（13）的远离旋钮（7）的一端穿过螺纹孔（14）并与固定套（4）固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种用于固晶机的晶片托盘，其特征在于：所述固定套（4）的内部开设有固定槽（10），所述固定槽（10）的内表面固定安装有柔性套（11），所述柔性套（11）的上端设置为弧形。