[实用新型]一种用于芯片承载带的芯片更换装置有效

专利信息
申请号: 202021145277.0 申请日: 2020-06-18
公开(公告)号: CN212783382U 公开(公告)日: 2021-03-23
发明(设计)人: 周科群;赵亚东;汪洋;陈楚杰 申请(专利权)人: 宁波芯健半导体有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/683
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫;贾允
地址: 315336 浙江省宁波市杭*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 芯片 承载 更换 装置
【权利要求书】:

1.一种用于芯片承载带的芯片更换装置,其特征在于,包括承载带固定装置(1)、真空吸附装置(2)和承载带(3);

所述承载带固定装置包括底板和固定件,所述承载带(3)设置在所述底板上,所述固定件与所述承载带(3)连接;

所述真空吸附装置(2)靠近所述承载带固定装置(1)设置。

2.根据权利要求1所述的用于芯片承载带的芯片更换装置,其特征在于,所述承载带(3)呈纵向延伸设置,沿所述纵向延伸的一侧设有多个定位孔(31),沿所述纵向延伸的另一侧设有多个安装槽(32),每个所述安装槽(32)通过设置盖带(33)密封。

3.根据权利要求2所述的用于芯片承载带的芯片更换装置,其特征在于,所述底板为支撑板(11),所述固定件为固定杆(12);所述固定杆(12)设置在所述支撑板(11)上,所述固定杆(12)与所述定位孔(31)配合,将所述承载带(3)固定在所述支撑板(11)上。

4.根据权利要求1所述的用于芯片承载带的芯片更换装置,其特征在于,所述真空吸附装置(2)包括真空发生装置(21)和芯片吸附管(22);所述芯片吸附管(22)与所述真空发生装置(21)连接。

5.根据权利要求4所述的用于芯片承载带的芯片更换装置,其特征在于,所述芯片吸附管(22)包括控制端头(221)、吸附端头(222)和导气管(223);所述控制端头(221)设置在所述导气管(223)的一端,并与所述真空发生装置(21)连接,所述吸附端头(222)设置在所述导气管(223)的另一端。

6.根据权利要求5所述的用于芯片承载带的芯片更换装置,其特征在于,所述控制端头(221)设有控制模块,所述控制模块与所述真空发生装置(21)连接。

7.根据权利要求5所述的用于芯片承载带的芯片更换装置,其特征在于,所述吸附端头(222)设有吸附面,所述吸附面呈平面设置。

8.根据权利要求4所述的用于芯片承载带的芯片更换装置,其特征在于,所述真空发生装置(21)为真空发生器。

9.根据权利要求2所述的用于芯片承载带的芯片更换装置,其特征在于,还包括剥离装置,所述剥离装置靠近所述承载带固定装置(1)设置,所述剥离装置用于剥离所述盖带,以使所述真空吸附装置(2)伸进所述安装槽吸附芯片。

10.根据权利要求2所述的用于芯片承载带的芯片更换装置,其特征在于,还包括封合装置,所述封合装置靠近所述承载带固定装置(1)设置,所述封合装置用于在芯片更换完成后,对所述盖带进行封合操作。

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