[实用新型]一种用于芯片承载带的芯片更换装置有效
申请号: | 202021145277.0 | 申请日: | 2020-06-18 |
公开(公告)号: | CN212783382U | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 周科群;赵亚东;汪洋;陈楚杰 | 申请(专利权)人: | 宁波芯健半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;贾允 |
地址: | 315336 浙江省宁波市杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 芯片 承载 更换 装置 | ||
1.一种用于芯片承载带的芯片更换装置,其特征在于,包括承载带固定装置(1)、真空吸附装置(2)和承载带(3);
所述承载带固定装置包括底板和固定件,所述承载带(3)设置在所述底板上,所述固定件与所述承载带(3)连接;
所述真空吸附装置(2)靠近所述承载带固定装置(1)设置。
2.根据权利要求1所述的用于芯片承载带的芯片更换装置,其特征在于,所述承载带(3)呈纵向延伸设置,沿所述纵向延伸的一侧设有多个定位孔(31),沿所述纵向延伸的另一侧设有多个安装槽(32),每个所述安装槽(32)通过设置盖带(33)密封。
3.根据权利要求2所述的用于芯片承载带的芯片更换装置,其特征在于,所述底板为支撑板(11),所述固定件为固定杆(12);所述固定杆(12)设置在所述支撑板(11)上,所述固定杆(12)与所述定位孔(31)配合,将所述承载带(3)固定在所述支撑板(11)上。
4.根据权利要求1所述的用于芯片承载带的芯片更换装置,其特征在于,所述真空吸附装置(2)包括真空发生装置(21)和芯片吸附管(22);所述芯片吸附管(22)与所述真空发生装置(21)连接。
5.根据权利要求4所述的用于芯片承载带的芯片更换装置,其特征在于,所述芯片吸附管(22)包括控制端头(221)、吸附端头(222)和导气管(223);所述控制端头(221)设置在所述导气管(223)的一端,并与所述真空发生装置(21)连接,所述吸附端头(222)设置在所述导气管(223)的另一端。
6.根据权利要求5所述的用于芯片承载带的芯片更换装置,其特征在于,所述控制端头(221)设有控制模块,所述控制模块与所述真空发生装置(21)连接。
7.根据权利要求5所述的用于芯片承载带的芯片更换装置,其特征在于,所述吸附端头(222)设有吸附面,所述吸附面呈平面设置。
8.根据权利要求4所述的用于芯片承载带的芯片更换装置,其特征在于,所述真空发生装置(21)为真空发生器。
9.根据权利要求2所述的用于芯片承载带的芯片更换装置,其特征在于,还包括剥离装置,所述剥离装置靠近所述承载带固定装置(1)设置,所述剥离装置用于剥离所述盖带,以使所述真空吸附装置(2)伸进所述安装槽吸附芯片。
10.根据权利要求2所述的用于芯片承载带的芯片更换装置,其特征在于,还包括封合装置,所述封合装置靠近所述承载带固定装置(1)设置,所述封合装置用于在芯片更换完成后,对所述盖带进行封合操作。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造