[实用新型]一种太阳能硅片表面蚀刻装置有效
申请号: | 202021092940.5 | 申请日: | 2020-06-13 |
公开(公告)号: | CN211980582U | 公开(公告)日: | 2020-11-20 |
发明(设计)人: | 江水德 | 申请(专利权)人: | 衢州三盛电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/687;H01L31/18 |
代理公司: | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人: | 张铁兰 |
地址: | 324000 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能 硅片 表面 蚀刻 装置 | ||
本实用新型涉及太阳能硅片加工技术领域,且公开了一种太阳能硅片表面蚀刻装置,包括底座,所述底座顶部的左右两侧均固定连接有挡板,两个所述挡板之间固定连接有蚀刻容器,两个所述挡板的顶部固定连接有顶板,所述顶板的顶部固定安装有控制箱,所述控制箱的内部固定安装有电动推杆,所述电动推杆的输出轴上固定连接有调节台,所述调节台的内部固定安装有双轴电机。该太阳能硅片表面蚀刻装置,其整体结构精简且便于使太阳能硅片进行稳定蚀刻,同时便于对不同大小的太阳能硅片进行夹持,从而有效的解决了太阳能硅片在蚀刻时难以保证稳定性,且难以对不同大小的硅片进行快速夹持的问题。
技术领域
本实用新型涉及太阳能硅片加工技术领域,具体为一种太阳能硅片表面蚀刻装置。
背景技术
太阳能电池片分为晶硅类和非晶硅类,而太阳能硅片属于硅片,太阳能硅片的作用是光子能量照射到硅和锗构成的半导体PN结中的电子孔穴位置,而电子就会产生迁跃,从而在两端的半导体硅中产生电压,如果该电压形成回路,则产生电流。
硅属于储藏量十分多的元素,因此太阳能硅片具备十分广泛的应用前景,而太阳能硅片在加工时需要进行蚀刻,而蚀刻的方式可采用湿式蚀刻,但是在蚀刻的过程中难以保证太能能硅片的稳定性,且难以对不同大小的硅片进行快速夹持,故而提出一种太阳能硅片表面蚀刻装置来解决上述中所提出的问题。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种太阳能硅片表面蚀刻装置,具备蚀刻稳定且便于调节等优点,解决了太阳能硅片在蚀刻时难以保证稳定性,且难以对不同大小的硅片进行快速夹持的问题。
(二)技术方案
为实现上述蚀刻稳定且便于调节的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种太阳能硅片表面蚀刻装置,包括底座,所述底座顶部的左右两侧均固定连接有挡板,两个所述挡板之间固定连接有蚀刻容器,两个所述挡板的顶部固定连接有顶板,所述顶板的顶部固定安装有控制箱,所述控制箱的内部固定安装有电动推杆,所述电动推杆的输出轴上固定连接有调节台,所述调节台的内部固定安装有双轴电机,所述双轴电机左右两侧的输出端均固定连接有螺纹丝杠,所述调节台的左右两侧内壁上均固定连接有限位轴承,两个所述螺纹丝杠的外部均螺纹连接有调节块,所述调节台的底部固定连接有隔离板,两个所述调节块的底部均固定连接有夹持台,两个所述夹持台的底部均固定连接有夹持架,两个所述夹持架的外部均固定连接有橡胶片。
优选的,所述蚀刻容器为外形呈长方体的内中空容器,其内壁上均匀覆盖有防腐层,且蚀刻容器的内部填充有蚀刻液。
优选的,所述控制箱的左侧固定连接有插座,所述调节台为外形呈长方体的中空台体,且该调节台的底部固定连接有横板。
优选的,两个所述螺纹丝杠远离双轴电机的另一端均延伸至两个限位轴承内侧并与其内环固定连接。
优选的,两个所述螺纹丝杠上的螺纹呈相反状,所述调节台的底壁与其底部的横板内侧均开设有相互连通的横向调节槽。
优选的,所述隔离板的顶部与横板的底部固定连接,且隔离板的内部开设有直径与横向调节槽相等的滑槽。
(三)有益效果
与现有技术相比,本实用新型提供了一种太阳能硅片表面蚀刻装置,具备以下有益效果:
1、该太阳能硅片表面蚀刻装置,通过将太阳能硅片置于两个夹持架之间并启动双轴电机,此时两个螺纹丝杠转动带动两个调节台相互靠近至夹持架夹持住太阳能硅片后停止双轴电机,此时启动电动推杆使调节台逐渐下降至太阳能硅片沉入蚀刻容器中进行蚀刻即可,其调节便捷且便于对不同大小的太阳能硅片稳定夹持,达到了便于调节夹持的效果,通过该蚀刻装置整体结构精简且便于对不同大小的太阳能硅片进行夹持,能够使该装置实用性好,便于推广使用。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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