[实用新型]一种半导体测试机装置

说明书

本实用新型公开了一种半导体测试机装置，包括箱体，所述箱体内设置有探针和底座，所述底座与箱体固定连接，所述底座的两侧对称设置有第一限位装置和第二限位装置，所述底座的一侧设置有滑动板，所述滑动板的一侧设置有垫板，所述垫板与滑动板固定连接，所述垫板的一侧设置有第二橡胶垫，所述第二橡胶垫固定连接有第二横板，所述第二横板与垫板固定连接，所述垫板的一侧设置有第一横板，所述第一横板的一侧固定连接有第一橡胶垫，所述第一横板的另一侧固定连接有把手，所述第一横板的两侧对称设置有第二伸缩装置和第一伸缩装置，以上部件的配合使用能实现对被检测芯片的限位，避免探针与芯片接触时产生位移，避免针尖划伤芯片表面。

技术领域

本实用新型涉及一种测试机装置，具体是一种半导体测试机装置。

背景技术

芯片是一种将电路制造在半导体芯片表面上的集成电路，集成电路芯片的测试分类包括：晶圆测试、芯片测试和封装测试，芯片测试是在晶圆经过切割、减薄工序，成为一片片独立的片之后的测试，其一般是将芯片放在测试平台上，用探针探到芯片中事先确定的测试点，探针上可以通过直流电流和交流信号，可以对其进行各种电气参数测试。

在对芯片进行检测的过程中需要对芯片进行放置固定，以便后续进行测试，芯片在测试过程中，测试探针接触芯片后形成固定支点，芯片往往会随机跳动，导致探针存在偏移，不仅影响测试效率，同时针尖容易划伤芯片表面。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体测试机装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种半导体测试机装置，包括箱体，所述箱体内设置有探针和底座，所述底座与箱体固定连接，所述底座的两侧对称设置有第一限位装置和第二限位装置，所述底座的一侧设置有滑动板，所述滑动板的一侧设置有垫板，所述垫板与滑动板固定连接，所述垫板的一侧设置有第二橡胶垫，所述第二橡胶垫固定连接有第二横板，所述第二横板与垫板固定连接，所述垫板的一侧设置有第一横板，所述第一横板的一侧固定连接有第一橡胶垫，所述第一横板的另一侧固定连接有把手，所述第一横板的两侧对称设置有第二伸缩装置和第一伸缩装置。

作为本实用新型进一步的方案：所述第二限位装置包括丝杆和支板，所述丝杆外套设有支板，所述丝杆与支板螺纹连接，所述支板与底座固定连接，所述第一限位装置和第二限位装置的结构和各部件的规格均相同。

作为本实用新型再进一步的方案：所述底座固定连接有两个滑块，所述滑动板开设有滑槽，所述滑块设置在滑动板开设的滑槽内。

作为本实用新型再进一步的方案：所述滑动板表面开设有凹槽。

作为本实用新型再进一步的方案：所述垫板开设有弧槽。

作为本实用新型再进一步的方案：所述连杆的一端贯穿滤板设置在罐体的内腔，所述第一伸缩装置包括回缩弹簧、杆体和筒体，所述筒体与垫板固定连接，所述筒体内套设有杆体，所述杆体套设在筒体内的一端固定连接有回缩弹簧，所述回缩弹簧的一端与筒体固定连接，所述杆体套设在筒体外的一端表面与第一横板固定连接，所述第二伸缩装置和第一伸缩装置的结构和各部件的规格均相同。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过箱体、底座、第一限位装置、第二限位装置、滑动板、垫板、第二橡胶垫、第二横板、第一横板、第一橡胶垫、第二伸缩装置和第一伸缩装置，以上部件的配合使用能实现对被检测芯片的限位，避免探针与芯片接触时产生位移，避免针尖划伤芯片表面，提高检测效率和质量。

2、通过箱体、底座、第一限位装置、第二限位装置、滑动板和滑块的配合使用，能实现对被检测芯片位置的调整，提高芯片的检测质量。

附图说明

图1为一种半导体测试机装置的结构示意图。