[实用新型]一种气相反应粉体表面包覆机的腔壁结构

说明书

本实用新型提供了一种气相反应粉体表面包覆机的腔壁结构，涉及粉体表面包覆技术领域。腔壁结构用以收纳能够盛放粉体的内桶，且连通于供气装置和抽气装置，还连接于用以驱动内桶转动的驱动装置，其包含：具有用以收纳内桶的腔体的内壁；配置于内壁外侧且用以包裹内壁的外壁；配置于内壁用以加热腔体内的物质的加热件；配置于内壁用以连通腔体和供气装置的进气管路；配置于内壁用以连通腔体和抽气装置的抽气管路。供气装置输出的反应气体能够通过进气管路，并进入腔体中，在粉体表面发生反应，抽气装置能够通过抽气管路，将反应气体从腔体中抽出，并使腔体内形成真空。

技术领域

本实用新型涉及粉体表面包覆领域，具体而言，涉及一种气相反应粉体表面包覆机的腔壁结构。

背景技术

粉体表面包覆是通过表面化学反应来实现的，一般有机械搅拌融合法、化学溶液反应法，以及气相反应法三种方法。其中气相反应法主要包括原子层沉积法(ALD)、化学气相沉积(CVD)，以及分子层沉积法(MLD)。粉体表面包覆机是实现气相反应法粉体表面包覆的常用设备。目前表面包覆机普遍采用固定的腔壁结构和可转动配置在腔壁结构内部的内桶作为反应装置，并将供气装置和抽气装置连通于腔壁结构的腔体，来输送和抽出反应气体，气体进入内腔后通过自由扩散到内桶的反应腔内，并在粉体表面发生反应形成包覆层。但是现有的腔壁结构普遍结构单一，不利于设备升级，且不能很好的保证粉体表面包覆的效果。可以理解地，表面包覆机除了应用于粉体外，还可应用于其他‘待包覆件’，例如零部件、轴承、螺丝等工件，或药剂颗粒，或其他3D物体。有鉴于此，发明人在研究了现有的技术后特提出本申请。

实用新型内容

本实用新型提供了一种气相反应粉体表面包覆机的腔壁结构，旨在改善现有腔壁的功能较为简单，不能很好的保证粉体表面包覆效果的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种气相反应粉体表面包覆机的腔壁结构，其用以收纳能够盛放粉体的内桶，且连通于供气装置和抽气装置，还连接于用以驱动所述内桶转动的驱动装置，其包含：

内壁，其具有用以收纳所述内桶的腔体；

外壁，其配置于所述内壁外侧，用以包裹所述内壁；

加热件，其配置于所述内壁，用以控制腔体的温度；

进气管路，其配置于所述内壁，用以连通所述腔体和所述供气装置；

抽气管路，其配置于所述内壁，用以连通所述腔体和所述抽气装置

所述供气装置输出的反应气体能够通过进气管路，并进入腔体中，在粉体表面发生反应，所述抽气装置能够通过所述抽气管路，将反应气体从腔体中抽出，并使腔体内形成真空。

作为进一步优化，所述进气管路和所述抽气管路布设于所述内壁和外壁之间或所述内壁的内表面。

作为进一步优化，所述外壁和所述内壁之间设置有用以隔热的真空层。

作为进一步优化，所述进气管路和所述抽气管路布设于所述内壁和外壁之间时，位于所述真空层中，且一端穿过所述内壁连通于所述腔体，另一端穿过所述外壁分别连通于所述供气装置和所述抽气装置。

作为进一步优化，所述进气管路和所述抽气管路穿过所述外壁的一端分别设置有阀门。

作为进一步优化，所述加热件为电阻丝加热器或红外加热器，配置于所述内壁的内表面。

作为进一步优化，所述驱动装置包括一沿着轴线设置有第一气道的转轴，所述腔壁结构包括配置于所述内壁和所述外壁且套置于所述转轴的套管，以及配置于所述转轴和所述套管之间的密封件；所述套管设置有用以套置所述转轴的第二气道，所述转轴设置有用以连通所述第一气道和所述第二气道的气孔。

作为进一步优化，所述进气管路配置于所述内壁和所述外壁之间，且一端连通于所述供气装置，另一端连通于所述第二气道。