[实用新型]一种气相反应粉体表面包覆机的腔壁结构有效
| 申请号: | 202020517437.3 | 申请日: | 2020-04-08 |
| 公开(公告)号: | CN212102999U | 公开(公告)日: | 2020-12-08 |
| 发明(设计)人: | 王桐;赵茂生;王韫宇 | 申请(专利权)人: | 厦门韫茂科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44 |
| 代理公司: | 厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) 35222 | 代理人: | 陈槐萱 |
| 地址: | 361000 福建省厦门市软件*** | 国省代码: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 相反 体表 面包 结构 | ||
1.一种气相反应粉体表面包覆机的腔壁结构,用以收纳能够盛放粉体的内桶(9),且连通于供气装置(12)和抽气装置(2),还连接于用以驱动所述内桶(9)转动的驱动装置(10),其特征在于,包含:
内壁(5),其具有用以收纳所述内桶(9)的腔体(8);
外壁(4),其配置于所述内壁(5)外侧,用以包裹所述内壁(5);
加热件(7),其配置于所述内壁(5),用以控制腔体(8)的温度;
进气管路(11),其配置于所述内壁(5),用以连通所述腔体(8)和所述供气装置(12);
抽气管路(1),其配置于所述内壁(5),用以连通所述腔体(8)和所述抽气装置(2);
所述供气装置(12)输出的反应气体能够通过进气管路(11),并进入腔体(8)中,在粉体表面发生反应,所述抽气装置(2)能够通过所述抽气管路(1),将反应气体从腔体(8)中抽出,以使腔体(8)内形成真空。
2.根据权利要求1所述的一种气相反应粉体表面包覆机的腔壁结构,其特征在于,所述进气管路(11)和所述抽气管路(1)布设于所述内壁(5)和外壁(4)之间或所述内壁(5)的内表面。
3.根据权利要求2所述的一种气相反应粉体表面包覆机的腔壁结构,其特征在于,所述外壁(4)和所述内壁(5)之间设置有用以隔热的真空层(6)。
4.根据权利要求3所述的一种气相反应粉体表面包覆机的腔壁结构,其特征在于,所述进气管路(11)和所述抽气管路(1)布设于所述内壁(5)和外壁(4)之间时,位于所述真空层(6)中,且一端穿过所述内壁(5)连通于所述腔体(8),另一端穿过所述外壁(4)分别连通于所述供气装置(12)和所述抽气装置(2)。
5.根据权利要求4所述的一种气相反应粉体表面包覆机的腔壁结构,其特征在于,所述进气管路(11)和所述抽气管路(1)穿过所述外壁(4)的一端分别设置有阀门(3)。
6.根据权利要求1所述的一种气相反应粉体表面包覆机的腔壁结构,其特征在于,所述加热件(7)为电阻丝加热器或红外加热器,配置于所述内壁(5)的内表面。
7.根据权利要求1所述的一种气相反应粉体表面包覆机的腔壁结构,其特征在于,所述驱动装置(10)包括一沿着轴线设置有第一气道(14)的转轴(18),所述腔壁结构包括配置于所述内壁(5)和所述外壁(4)且套置于所述转轴(18)的套管(13),以及配置于所述转轴(18)和所述套管(13)之间的密封件(17);所述套管(13)设置有用以套置所述转轴(18)的第二气道(16),所述转轴(18)设置有用以连通所述第一气道(14)和所述第二气道(16)的气孔(15)。
8.根据权利要求7所述的一种气相反应粉体表面包覆机的腔壁结构,其特征在于,所述进气管路(11)配置于所述内壁(5)和所述外壁(4)之间,且一端连通于所述供气装置(12),另一端连通于所述第二气道(16)。
9.根据权利要求1所述的一种气相反应粉体表面包覆机的腔壁结构,其特征在于,所述内壁(5)和所述外壁(4)在相应的位置设置有用以取放所述内桶(9)的开口,所述腔壁结构还包括配置于所述开口且用以密封所述开口的门板。
10.根据权利要求1-9任一项所述的一种气相反应粉体表面包覆机的腔壁结构,其特征在于,所述内壁(5)和所述外壁(4)的材料为不锈钢、镍、铝、钨、钼、碳化硅、氧化铝中的一种。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





