[实用新型]一种MEMS电容式加速度计批量自动化测试工装

说明书

本实用新型公开了一种MEMS电容式加速度计批量自动化测试工装，包括分度结构，所述分度结构包括分度装置和第一轴承并且所述分度装置套接于所述第一轴承，所述分度装置与所述第一轴承固定连接；传动轴和温箱，所述分度结构位于所述温箱的一侧并且固定于所述温箱，所述分度结构套接于所述传动轴，所述传动轴依次贯穿于所述分度结构和所述温箱。本实用新型公开的一种MEMS电容式加速度计批量自动化测试工装，其在温箱的一侧增加稳固结构，将支点增加到2个支点，使其能承载更大的力，从而实现批量生产，保证数据采集卡通道全部用到，实现最大生产量生产。

技术领域

本实用新型属于加速度计测试技术领域，具体涉及一种MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微机电系统)电容式加速度计批量自动化测试工装。

背景技术

电容式加速度计为差分电容结构，其内部有一个可动极板及多个固定电极，可动极板与质量块相连，多个固定电极与之相对，在可动极板与固定电极间形成差分电容对，当向电容式加速度计施加外部加速度时，其内部质量块发生位移，并引起加速度计内部的差分电容对发生变化，从而使得差分电容的差动电容值发生变化。利用这一特性，对封装好的加速度计成品电路施加机械冲击或振动，提供一个加速度信号,由接口检测电路将电容变化量转换为电压、电流、频率等易于测量的电信号，再由数据采集卡等设备与接口检测电路进行通信，对接口检测电路的输出信号进行采集，就可以测量出电容式加速度计的各项参数。

但由于需要实现批量化自动测试，需要合适的工装保证承载力和测试精准度，故需要改进原工装来解决这个问题。一般加速度计自动测试系统由精密分度装置、变温箱、数据采集与处理系统和水平位置与基础振动监测系统组成。而需要保护的内容是大批量生产，针对精密分度装置承载能力不够，先工装进行设计，使其承载能力加强，实现批量生产。

现有的方案是将温箱侧壁进行打孔，工装设计单轴转台根据固定安装孔位位置和孔的大小进行设计传动轴，中间镂空，保证通信线能正常穿过，再将承物台安装上去，并将产品安装在承物台进行测试。但是具有以下缺点：该工装设计局限，一旦产品增多，数据测试不良，单纯靠分度装置的轴承的承载力无法承载那么重的力，导致无法保证精度，导致数据不良。

因此，针对上述问题，予以进一步改进。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种MEMS电容式加速度计批量自动化测试工装，其在温箱的一侧增加稳固结构，将支点增加到2个支点，使其能承载更大的力，从而实现批量生产，保证数据采集卡通道全部用到，实现最大生产量生产。

本实用新型的另一目的在于提供一种MEMS电容式加速度计批量自动化测试工装，其具有稳定性高、效率高、安全性高等优点。

为达到以上目的，本实用新型提供一种MEMS电容式加速度计批量自动化测试工装，包括：

分度结构，所述分度结构包括分度装置和第一轴承并且所述分度装置套接于所述第一轴承，所述分度装置与所述第一轴承固定连接；

传动轴和温箱，所述分度结构位于所述温箱的一侧并且固定于所述温箱，所述分度结构套接于所述传动轴，所述传动轴依次贯穿于所述分度结构和所述温箱；

稳固结构和安装板，所述稳固结构位于所述温箱远离所述分度结构的一侧并且与所述温箱固定连接，所述稳固结构包括轴承套和第二轴承，所述轴承套套接于所述第二轴承并且所述轴承套用于将所述第二轴承紧贴于所述温箱，所述传动轴依次贯穿于所述分度结构和所述温箱后继续贯穿于所述稳固结构然后与所述安装板固定连接，所述安装板上放置电容式加速度计。

作为上述技术方案的进一步优选的技术方案，所述分度装置设有第一延伸部，所述第一延伸部用于分度。