[实用新型]一种MEMS电容式加速度计批量自动化测试工装有效
| 申请号： | 202020372067.9 | 申请日： | 2020-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN211785616U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 沈旭东;李政华;张婷婷 | 申请（专利权）人： | 嘉兴恩湃电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G01P21/00 | 分类号： | G01P21/00 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 王大国 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mems 电容 加速度计 批量 自动化 测试 工装 | ||
1.一种MEMS电容式加速度计批量自动化测试工装，用于对电容式加速度计进行批量自动化测试，其特征在于，包括：
分度结构，所述分度结构包括分度装置和第一轴承并且所述分度装置套接于所述第一轴承，所述分度装置与所述第一轴承固定连接；
传动轴和温箱，所述分度结构位于所述温箱的一侧并且固定于所述温箱，所述分度结构套接于所述传动轴，所述传动轴依次贯穿于所述分度结构和所述温箱；
稳固结构和安装板，所述稳固结构位于所述温箱远离所述分度结构的一侧并且与所述温箱固定连接，所述稳固结构包括轴承套和第二轴承，所述轴承套套接于所述第二轴承并且所述轴承套用于将所述第二轴承紧贴于所述温箱，所述传动轴依次贯穿于所述分度结构和所述温箱后继续贯穿于所述稳固结构然后与所述安装板固定连接，所述安装板上放置电容式加速度计。
2.根据权利要求1所述的一种MEMS电容式加速度计批量自动化测试工装，其特征在于，所述分度装置设有第一延伸部，所述第一延伸部用于分度。
3.根据权利要求2所述的一种MEMS电容式加速度计批量自动化测试工装，其特征在于，所述传动轴呈空心圆柱状并且在所述传动轴靠近所述安装板的一端设有第一连接部和第二连接部，所述第一连接部位于所述第二连接部的上方并且所述第一连接部和所述第二连接部之间设有距离。
4.根据权利要求3所述的一种MEMS电容式加速度计批量自动化测试工装，其特征在于，所述安装板包括第一组件和第二组件，所述第一组件和所述第二组件一体成型，所述第一连接部和所述第二连接部分别固定于所述第一组件。
5.根据权利要求4所述的一种MEMS电容式加速度计批量自动化测试工装，其特征在于，所述第二轴承位于所述温箱的内侧壁并且通过所述轴承套紧贴于所述温箱。
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