[实用新型]下传动设备及单晶炉有效
| 申请号: | 202020300389.2 | 申请日: | 2020-03-12 |
| 公开(公告)号: | CN211947288U | 公开(公告)日: | 2020-11-17 |
| 发明(设计)人: | 李永哲;王瑞贤;李维琛 | 申请(专利权)人: | 河北晶龙阳光设备有限公司 |
| 主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B11/00 |
| 代理公司: | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人: | 徐颖聪 |
| 地址: | 055550 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 传动 设备 单晶炉 | ||
本实用新型提供一种下传动设备及单晶炉,其中,下传动设备用于单晶炉中驱动坩埚升降,包括:支架;丝杠,所述丝杠安装在所述支架上用于带动坩埚轴进行上下运动,所述丝杠的螺纹升角小于当量摩擦角;升降电机,所述升降电机连接所述丝杠,用于驱动所述丝杠进行转动。根据本实用新型的下传动设备能够提升单晶炉的安全性,及时检测出漏硅,且结构稳定。
技术领域
本实用新型涉及光伏领域,具体涉及一种下传动设备及单晶炉。
背景技术
单晶炉是单晶体的生长设备,下传动是单晶炉的主要设备,设置在炉体的下部,用于驱动石英坩埚升降、旋转。
下传动设备通常采用滚珠丝杠,滚珠丝杠不具备自锁功能,会导致安全性不足。
炉内情况主要通过炉盖上的两个窗口观测,石英坩埚轻度破裂造成的漏硅不易察觉。如不能及时发现,将损坏热场、炉底、下传动设备,不仅经济损失巨大,而且有可能造成安全事故。
下传动的固定,多采用锁紧螺钉和起顶丝作用的螺钉共同作用,来实现下传动的调平固定。使下传动底部安装面悬空,仅靠螺钉的摩擦力固定底座位置,在下传动使用过程中,易偏移,不仅造成同轴度偏差大,影响拉晶质量,同时下传动需要经常重新找平找正,影响正常生产。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型提供一种下传动设备,能够提升单晶炉的安全性,及时检测出漏硅,且结构稳定。
为解决上述技术问题,一方面,本实用新型提供一种下传动设备,用于单晶炉中驱动坩埚升降,包括:
支架;
丝杠,所述丝杠安装在所述支架上用于带动坩埚轴进行上下运动,所述丝杠的螺纹升角小于当量摩擦角;
升降电机,所述升降电机连接所述丝杠,用于驱动所述丝杠进行转动。
进一步地,所述丝杠为梯形丝杠,且螺距为5mm。
进一步地,所述升降电机设有电磁抱闸机构。
进一步地,所述下传动设备还包括:
波纹管,所述波纹管设置在所述支架上,所述波纹管用于套设在所述坩埚轴上;
漏硅检测开关,所述漏硅检测开关设在所述波纹管上,所述漏硅检测开关为常闭开关且在检测到温度高于预定温度时打开。
进一步地,所述下传动设备还包括:
报警装置,所述报警装置与所述漏硅检测开关相连,且在所述漏硅检测开关打开时发出报警。
进一步地,所述波纹管包括:
法兰,所述法兰用于连接单晶炉底部;
直管,所述直管设置在所述法兰的下方,所述漏硅检测开关设置在所述直管上;
波片,所述波片设置在所述直管下方。
进一步地,所述下传动设备还包括:
4组楔块垫铁组件,所述楔块垫铁组件分别设置在所述支架的底部的四个拐角处,所述楔块垫铁组件用于调节所述支架与安装底座之间的高度。
进一步地,每组所述楔块垫铁组件包括两个楔面相互配合的楔铁块以及在前后方向上连接所述楔铁块的调节螺栓,通过所述调节螺栓调节该楔块垫铁组件的高度。
进一步地,还包括:
固定螺栓,所述固定螺栓在上下方向上穿设在所述支架底部的拐角处,用于将所述支架固定在所述安装底座上。
进一步地,所述支架的每个拐角的相邻两个外侧面分别通过水平方向设置的顶紧螺栓与所述安装底座相连。
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