[实用新型]下传动设备及单晶炉有效

专利信息
申请号: 202020300389.2 申请日: 2020-03-12
公开(公告)号: CN211947288U 公开(公告)日: 2020-11-17
发明(设计)人: 李永哲;王瑞贤;李维琛 申请(专利权)人: 河北晶龙阳光设备有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B11/00
代理公司: 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 代理人: 徐颖聪
地址: 055550 *** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 传动 设备 单晶炉
【权利要求书】:

1.一种下传动设备,用于单晶炉中驱动坩埚升降,其特征在于,包括:

支架;

丝杠,所述丝杠安装在所述支架上用于带动坩埚轴进行上下运动,所述丝杠的螺纹升角小于当量摩擦角;

升降电机,所述升降电机连接所述丝杠,用于驱动所述丝杠进行转动。

2.根据权利要求1所述的下传动设备,其特征在于,所述丝杠为梯形丝杠,且螺距为5mm。

3.根据权利要求1所述的下传动设备,其特征在于,所述升降电机设有电磁抱闸机构。

4.根据权利要求1所述的下传动设备,其特征在于,还包括:

波纹管,所述波纹管设置在所述支架上,所述波纹管用于套设在所述坩埚轴上;

漏硅检测开关,所述漏硅检测开关设在所述波纹管上,所述漏硅检测开关为常闭开关且在检测到温度高于预定温度时打开。

5.根据权利要求4所述的下传动设备,其特征在于,还包括:

报警装置,所述报警装置与所述漏硅检测开关相连,且在所述漏硅检测开关打开时发出报警。

6.根据权利要求4所述的下传动设备,其特征在于,所述波纹管包括:

法兰,所述法兰用于连接单晶炉底部;

直管,所述直管设置在所述法兰的下方,所述漏硅检测开关设置在所述直管上;

波片,所述波片设置在所述直管下方。

7.根据权利要求1所述的下传动设备,其特征在于,还包括:

4组楔块垫铁组件,所述楔块垫铁组件分别设置在所述支架的底部的四个拐角处,所述楔块垫铁组件用于调节所述支架与安装底座之间的高度。

8.根据权利要求7所述的下传动设备,其特征在于,每组所述楔块垫铁组件包括两个楔面相互配合的楔铁块以及在前后方向上连接所述楔铁块的调节螺栓,通过所述调节螺栓调节该楔块垫铁组件的高度。

9.根据权利要求7所述的下传动设备,其特征在于,还包括:

固定螺栓,所述固定螺栓在上下方向上穿设在所述支架底部的拐角处,用于将所述支架固定在所述安装底座上。

10.根据权利要求7所述的下传动设备,其特征在于,所述支架的每个拐角的相邻两个外侧面分别通过水平方向设置的顶紧螺栓与所述安装底座相连。

11.一种单晶炉,其特征在于,包括:

下传动设备,所述下传动设备为权利要求1至10任一项所述的下传动设备;

安装底座,所述安装底座上安装有所述的下传动设备;

坩埚轴,所述坩埚轴由所述下传动设备的丝杠带动进行上下运动。

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