[实用新型]一种用于半导体动态参数测试的工装夹具有效
| 申请号： | 202020074926.6 | 申请日： | 2020-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN211045405U | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 朱岩枫 | 申请（专利权）人： | 安徽中凌电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/66 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体 动态 参数 测试 工装 夹具 | ||
1.一种用于半导体动态参数测试的工装夹具，包括底座(1)和检测探头(2)，所述底座(1)的上表面设置有检测台(3)，其特征在于：所述底座(1)上表面的居中位置转动安装有中间基块(4)，所述中间基块(4)侧面的底端固定连接有连接板(41)，所述检测台(3)沿所述连接板(41)的轴向滑动卡接在所述连接板(41)的上表面，所述中间基块(4)的内腔设置有第一电机(5)，所述第一电机(5)的动力是输出端连接有螺纹杆(7)，所述螺纹杆(7)与所述检测台(3)侧面开设的螺纹通孔螺纹套接，所述底座(1)上表面的一端位置固定连接有基架(11)，所述基架(11)呈倒L形，且基架(11)顶部的水平延伸端固定连接有伸缩杆(8)，所述伸缩杆(8)的伸出端竖直向下设置，且检测探头(2)固定连接在所述伸缩杆(8)伸出端的底端，所述底座(1)的内腔设置有驱动所述中间基块(4)转动的动力装置，所述检测台(3)的上表面固定连接有吸盘(31)。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体动态参数测试的工装夹具，其特征在于：所述底座(1)内腔位于所述中间基块(4)下方的位置设置有第二电机(6)，所述第二电机(6)的动力输出端与所述中间基块(4)下表面的居中位置固定套接。
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体动态参数测试的工装夹具，其特征在于：所述吸盘(31)设置有多个，且吸盘(31)的底端垂直固定在所述检测台(3)的上表面。
4.根据权利要求1所述的一种用于半导体动态参数测试的工装夹具，其特征在于：所述伸缩杆(8)为电动伸缩杆。
5.根据权利要求1所述的一种用于半导体动态参数测试的工装夹具，其特征在于：所述基架(11)里侧与所述中间基块(4)侧面之间的距离大于所述连接板(41)的长度。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽中凌电子科技有限公司，未经安徽中凌电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202020074926.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种水泵自动化远程控制柜
- 下一篇：一种防漏电的电子产品封装外壳
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
