[发明专利]集成电路、其电源门控单元及其制造方法

权利要求书

1.一种集成电路上的电源门控单元，包括：

中心区域；

周边区域，围绕所述中心区域；

第一有源区域，位于所述中心区域内，所述第一有源区域在第一方向上具有第一宽度，所述第一宽度与在垂直于所述第一方向的第二方向上延伸的至少四个鳍结构对应；以及

多个第二有源区域，位于所述周边区域内，每个第二有源区域在所述第一方向上具有第二宽度，所述第二宽度与在所述第二方向上延伸的至少一个且不超过三个的鳍结构对应。

2.根据权利要求1所述的电源门控单元，其中，所述集成电路具有在所述第二方向上延伸的全局鳍栅格组，并且与所述第一有源区域对应的所述至少四个鳍结构与所述全局鳍栅格组对齐。

3.根据权利要求1所述的电源门控单元，其中，与所述多个第二有源区域中的每一个对应的所述至少一个且不超过三个的鳍结构不与所述全局鳍栅格组对齐。

4.根据权利要求1所述的电源门控单元，其中，所述电源门控单元是头部单元，所述头部单元配置为响应于控制信号而切断到所述集成电路上的标准逻辑单元的电源。

5.根据权利要求1所述的电源门控单元，其中，所述电源门控单元是脚部单元，所述脚部单元配置为响应于控制信号而切断到所述集成电路上的标准逻辑单元的电源。

6.根据权利要求1所述的电源门控单元，其中，所述第二宽度对应于一个鳍结构。

7.根据权利要求1所述的电源门控单元，其中，所述第二宽度对应于两个鳍结构。

8.根据权利要求1所述的电源门控单元，其中，所述第二宽度对应于三个鳍结构。

9.一种集成电路，包括：

标准逻辑单元，配置为执行功能；

电源门控单元，耦合至所述标准逻辑单元，所述电源门控单元配置为响应于控制信号而断开到标准逻辑单元的电源，所述电源门控单元具有中心区域和围绕所述中心区域的周边区域；并且

其中，所述电源门控单元还包括：

第一有源区域，位于所述中心区域内，所述第一有源区域在第一方向上具有第一宽度，所述第一宽度与在垂直于所述第一方向的第二方向上延伸的至少四个鳍结构对应；以及

多个第二有源区域，位于所述周边区域内，每个第二有源区域在所述第一方向上具有第二宽度，所述第二宽度与在所述第二方向上延伸的至少一个且不超过三个的鳍结构对应。

10.一种制造集成电路上的电源门控单元的方法，包括：

提供衬底，其中，在所述衬底上具有第一有源区域和多个第二有源区域，所述第一有源区域位于所述电源门控单元的中心区域内，并且在第一方向上具有第一宽度，所述第一宽度与在垂直于所述第一方向的第二方向上延伸的至少四个鳍结构对应，所述多个第二有源区域位于电源门控单元的围绕所述中心区域的周边区域内，每个第二有源区域在第一方向上具有第二宽度，所述第二宽度与在第二方向上延伸的至少一个且不超过三个的鳍结构对应；

在所述第一有源区域和所述多个第二有源区域上方形成鳍结构；

掺杂所述鳍结构的源极区域和漏极区域；以及

在所述第一有源区域和所述多个第二有源区域内的所述鳍结构的上方形成栅极结构。