[发明专利]压合设备及其上模控制方法、上模装置在审

专利信息
申请号: 202011567805.6 申请日: 2020-12-25
公开(公告)号: CN114678291A 公开(公告)日: 2022-06-28
发明(设计)人: 王安田;柯有濂;林逸达 申请(专利权)人: 万润科技股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L23/367
代理公司: 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 代理人: 史瞳;谢琼慧
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 设备 及其 控制 方法 装置
【说明书】:

发明提供一种压合设备及其上模控制方法、上模装置。该压合设备的上模控制方法,包括:提供驱动模块,以驱动杆提供向下位移的驱力;提供压合模块,以模座设置压模单元;使该驱动杆受驱动向下位移的驱力先对该压合模块中该压模单元上的荷重量测单元作用,该驱力再间接经该荷重量测单元驱使该压模单元的压杆下方的压模对受压物进行压抵,借此使该上模的实际施力获得更精确的管控,提升压合制程的质量。

技术领域

本发明有关于一种压合设备及其上模控制方法、上模装置,尤指一种配合下方一下模共同压合一受压物的压合设备及其上模控制方法、上模装置。

背景技术

一般的芯片封装制程中常会先在基板上涂覆黏胶,再将一晶粒黏附在基板上,而晶粒的上方必须再涂覆一层散热胶液,然后再将一散热片以黏附方式植放在该散热胶液上并罩覆在该晶粒及该基板上方;近来该散热胶液已逐渐被以一种具有散热功能的散热胶垫取代,但在植放该散热片的制程上都一样必须对该基板上的该散热片进行压合作业,使该散热片能稳固位在该基板上方,并覆盖在该散热胶垫上。

先前技术以一上模在使用时配合一下模共同压合基板上载有晶粒并完成覆上散热片的组件,虽能达到对该组件所形成的受压物的压合效果,但难以管控压合的质量,因施压的力量不易控制,易随驱动装置出力的稳定性有所变异,为求对压合质量的有效管控,需要就此研发合适的机构和量测方式,以在大量生产制程的自动化压合作业中使质量稳定。

发明内容

本发明的目的,在于提供一种能对压合质量管控的压合设备的上模控制方法。

本发明压合设备的上模控制方法,包括:提供驱动模块,该驱动模块以驱动杆提供向下位移的驱力;提供压合模块,该压合模块以模座设置压模单元,所述压合设备的上模控制方法还包括:使该驱动杆受驱动向下位移的驱力先对该压合模块中该压模单元上的荷重量测单元作用,该驱力再间接经该荷重量测单元驱使该压模单元的压杆下方的压模对受压物进行压抵。

本发明所述的压合设备的上模控制方法,该压模受温度感测件感测温度。

本发明所述的压合设备的上模控制方法,对该压模下方的受压物进行气体吹抵,以协助该压模在完成压合欲上升时与该受压物顺利脱离。

本发明所述的压合设备的上模控制方法,该压杆被固定组件的第一定位单元维持水平径向定位并供上、下位移枢设。

本发明所述的压合设备的上模控制方法,该压杆被固定组件的第二定位单元维持该压杆垂直纵向定位。

本发明所述的压合设备的上模控制方法,该压杆上、下位移时,使该压杆不作旋转;当驱动该压杆下移的驱力消除时提供回复力,使该压杆上移回复原定位。

本发明所述的压合设备的上模控制方法,借由调整相对向的两个微调件的螺抵程度,以调整该压模底面。

本发明的另一目的,在于提供一种能对压合质量管控的压合设备的上模装置。

本发明压合设备的上模装置,包括驱动模块及压合模块,该驱动模块设有固定座,该固定座设有多个驱动件,每一驱动件设有能作上、下位移的驱动杆,该压合模块位于该驱动模块下方,并设有模座,该模座上设有多个分别各对应上方所述驱动件的压模单元,该压模单元设有压杆组件,该压杆组件设有压杆,该压杆上端顶部设有荷重量测单元,下端设有压模;该驱动杆受驱动向下位移对该荷重量测单元作用,间接经该荷重量测单元连动该压杆下方的该压模对受压物进行压抵。

本发明所述的压合设备的上模装置,该压杆设有管道,该管道设有与外部相通的槽口,该压模设有温度感测件,所述温度感测件以感测线经该压杆的该管道而由该槽口延伸至外部。

本发明所述的压合设备的上模装置,该压杆设有管道与管壁,该管壁设有与外部相通的气孔,该管道下端连通该压杆下端的固定座形成位于该固定座与该压模间的容室,该压模设有至少一个气道,该至少一个气道一端与该容室相通,另一端与该压模下方的区域相通。

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