[发明专利]一种SERS基底材料的制备方法以及SERS基底材料

权利要求书

1.一种SERS基底材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： S1、清洗衬底，去除衬底表面的污垢； S2、采用溅射法、原子沉积法、气相沉积法、电子束蒸发法或者化学还原法，在衬底表面制备金属薄膜，金属薄膜为金、银或铜薄膜； S3、将制备有金属薄膜的衬底放入微波炉内进行微波处理，使金属薄膜转变成金属纳米颗粒，得到SERS基底材料；

步骤S1所述衬底采用单晶硅、玻璃、陶瓷或蓝宝石；

步骤S2制备得到的金属薄膜厚度为10～60 nm；

步骤S3微波处理时，微波功率为300～1000W，微波处理时间为10～600s；

步骤S3金属纳米颗粒直径为30～150 nm。

2.根据权利要求1所述的一种SERS基底材料的制备方法，其特征在于，步骤S1清洗衬底依次用1 M硫酸、无水乙醇和去离子水在超声清洗器中清洗30 min。

3.根据权利要求1所述的一种SERS基底材料的制备方法，其特征在于，步骤S1清洗衬底后，将衬底放入40～80 ℃的烘箱中干燥30～60 min。

4.根据权利要求1所述的一种SERS基底材料的制备方法，其特征在于，得到的SERS基底使用后，将SERS基底放入装有去离子水的培养皿中，在将培养皿放在可见光光源300 W氙灯下，培养皿距离氙灯15 cm，照射30 min，然后将SERS基底取出，用去离子水冲洗3遍后放入60℃烘箱中干燥30 min即可再次进行SERS检测。