[发明专利]对制造部件承载件期间的未对准进行补偿的方法和设备

权利要求书

1.一种对在制造层压型部件承载件期间的未对准进行补偿的方法，其中，所述方法包括：

在基于部件承载件结构(102)来制造所述部件承载件期间对所述部件承载件结构(102)的感兴趣区域(100)的图像进行检测；

对所述感兴趣区域(100)的所述图像中的示出了相对于目标设计未对准的结构特征(104)进行识别；以及

通过对随后待制造的至少一个相关的结构特征(106)的目标设计进行修改来至少部分地补偿所述结构特征(104)的所识别的未对准，其中，至少一个所述相关的结构特征(106)与示出了未对准的所述结构特征(104)相关。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法包括基于修改后的目标设计来制造至少一个所述相关的结构特征(106)。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法包括在所述感兴趣区域(100)中制造至少一个所述相关的结构特征(106)。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述未对准包括下述项中的至少一者：相对于目标位置的位置移位、相对于目标取向的旋转未对准、以及未对准的所述结构特征(104)相对于目标角度特性的倾斜。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法包括：

对在层压型的所述部件承载件结构(102)的当前被处理的层结构(130)中的未对准的所述结构特征(104)进行识别；以及

通过在所述部件承载件结构(102)的随后被处理的层结构(132)中实现所述相关的结构特征(106)的形成来至少部分地补偿所述未对准，特别地，通过在所述部件承载件结构(102)的相对于当前被处理的层结构(103)而言的下一个较高的层结构中实现所述相关的结构特征(106)的形成来至少部分地补偿所述未对准。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述方法包括：在对随后被处理的层结构(132)进行处理之后，对被处理的至少一个另外的层结构迭代地重复所述识别以及所述至少部分地补偿。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法包括：通过对所述部件承载件结构(102)的仅所述感兴趣区域(100)内的而不是其他区域(108)中的所述目标设计进行修改来补偿。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法包括：通过对所述部件承载件结构(102)的延伸超出所述感兴趣区域(100)的伸出区域(110)中的所述目标设计进行修改来进行补偿，其中，特别地，所述伸出区域(110)是面板型部件承载件(102)的四分之一板。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法包括基于所述部件承载件结构(102)的一个或更多个对准标记(112)来使所述部件承载件结构(102)对准。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述方法包括：由于形成所述结构特征(104)和/或由于形成所述相关的结构特征(106)而使得所述部件承载件结构(102)对准。

11.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法包括：基于将未对准的所述结构特征(104)的目标设计与所述结构特征(104)的实际设计进行比较的结果来识别所述未对准。