[发明专利]一种光刻机的晶片传送装置

权利要求书

1.一种光刻机的晶片传送装置，其特征在于，包括密封外壳（1）和分流密封外壳（2），所述密封外壳（1）的左侧与分流密封外壳（2）的右侧通过螺钉固定连接；所述分流密封外壳（2）外壁固定安装有控制面板（3），所述密封外壳（1）外壁两侧均固定设置有玻璃观察窗（4），且顶面安装有气泵（8），所述气泵（8）右侧设置有输气管（9），所述输气管（9）的两端分别与气泵（8）右侧和密封外壳（1）顶面右部连通；所述密封外壳（1）底面固定安装有支架（5），所述支架（5）底部固定安装有支撑柱（6），所述支撑柱（6）的上下两端分别与支架（5）底部和地面固定连接；所述密封外壳（1）右端一侧地面上固定安置有氮气瓶（7），所述氮气瓶（7）顶部与气泵（8）顶部通过软管连通。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机的晶片传送装置，其特征在于，所述密封外壳（1）顶部设置有夹层送气管（10），所述夹层送气管（10）右端顶部与输气管（9）底端连通，且夹层送气管（10）底部依次均匀开设有送气口（11），所述送气口（11）顶部与夹层送气管（10）底部连通。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机的晶片传送装置，其特征在于，所述分流密封外壳（2）内壁底部设置有分流台（12），所述分流台（12）底面与分流密封外壳（2）内壁底部固定连接；所述分流台（12）顶面安装有导向转盘（13），所述导向转盘（13）底部与分流台（12）顶面转动连接。

4.根据权利要求3所述的一种光刻机的晶片传送装置，其特征在于，所述导向转盘（13）中部开设有辊槽（14），所述辊槽（14）内安装有小型推料辊（15），所述小型推料辊（15）位于辊槽（14）内与导向转盘（13）中部转动连接。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机的晶片传送装置，其特征在于，所述密封外壳（1）内壁底部安装有传送带（16），所述传送带（16）两侧分别与密封外壳（1）内壁底部两侧活动连接。

6.根据权利要求5所述的一种光刻机的晶片传送装置，其特征在于，所述传送带（16）左部与分流台（12）右部对接，且其上方设置有分流隔板（17），所述分流隔板（17）从传送带（16）左部延伸至右部，且其顶部与密封外壳（1）内壁顶面固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种光刻机的晶片传送装置，其特征在于，所述分流台（12）和传送带（16）顶面均设置有晶片载板（18），所述晶片载板（18）均与分流台（12）和传送带（16）顶面可拆卸连接；所述晶片载板（18）顶面设置有限位卡块（19），所述限位卡块（19）底部与晶片载板（18）顶面一体连接。