[发明专利]一种覆铜衬板制作方法有效
申请号: | 202011326747.8 | 申请日: | 2020-11-24 |
公开(公告)号: | CN112469201B | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
发明(设计)人: | 朱德权;徐荣军;黄世东;季玮;刘深 | 申请(专利权)人: | 绍兴德汇半导体材料有限公司;浙江德汇电子陶瓷有限公司 |
主分类号: | H05K3/02 | 分类号: | H05K3/02;H05K3/06;H05K3/22;H05K3/26 |
代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 廖银洪 |
地址: | 312000 浙江省绍兴市越城区*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 覆铜衬板 制作方法 | ||
本发明公开了一种覆铜衬板制作方法,包括下列步骤:S1、瓷片、铜片清洗;S2、浆料印刷;S3、烧结;S4、铜蚀刻;S5、切割;S6、清洗;S7、浆料蚀刻。本发明的覆铜衬板制作方法通过优化工艺步骤顺序,并优选了各步骤的工艺条件参数,得到的覆铜衬板各项性能指标优良,综合使用性能好,本发明的覆铜衬板制作方法无瓷顾虑,因此酸性、碱性溶液都可以选择;溶液浓度选择性增大;可大大提升覆铜衬板制作的生产效率。
技术领域
本发明覆铜衬板技术领域,具体涉及一种覆铜衬板制作方法。
背景技术
覆铜衬板,具有优良的导热特性,高绝缘性,大电流承载能力,优异的耐焊锡性及高附着强度并可像PCB一样能刻蚀出各种线路图形。覆铜陶瓷基板应用于电力电子、大功率模块、航天航空等领域。例如绝缘栅双极晶体管(IGBT),一般电压使用环境,几百至上千伏以上。
覆铜衬板实际使用量非常大,在生产制作过程中,多采用整版作业。因此,出货前必须按客户要求尺寸进行切割。因为产品应用于高压环境中,所以切割后外观质量要求非常高。目前行业内主流切割工艺,“激光切割”。但是激光加工过程中,伴随产生大量的热能,冷却后切缝附近会残留异物,且异物为导体,最终引发一系列可靠性问题。
目前针对切割后的异常处理方式:一、物理处理,吹气;二、化学处理,使用低浓度酸性溶液清洗。但是,上述两种方式仍无法完全解决切缝残留问题。
但是,目前所使用的覆铜衬板制作方法还存在以下问题:
一、吹气:
1)只能去除表面粉尘,切缝附近熔渣无处理效果;
二、低浓度酸洗溶液处理
1)瓷片与酸液会反应,降低覆铜衬板瓷片强度;
2)药液浓度选择性小;
3)处理时间长,生产效率低;
基于上述情况,本发明提出了一种覆铜衬板制作方法,可有效解决以上问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种覆铜衬板制作方法。本发明的覆铜衬板制作方法通过优化工艺步骤顺序,并优选了各步骤的工艺条件参数,得到的覆铜衬板各项性能指标优良,综合使用性能好,本发明的覆铜衬板制作方法无瓷顾虑,因此酸性、碱性溶液都可以选择;溶液浓度选择性增大;可大大提升覆铜衬板制作的生产效率。
为解决以上技术问题,本发明提供的技术方案是:
一种覆铜衬板制作方法,包括下列步骤:
S1、瓷片、铜片清洗:
将瓷片表面清洗干净,然后在干燥温度为80℃±5℃的条件烘干;将铜片表面清洗干净,然后在干燥温度为80℃±5℃的条件烘干;
S2、浆料印刷:
在经步骤S1处理后的瓷片两面分别印刷浆料层,印刷方式为丝网印刷,然后在干燥温度为100±10℃的条件烘干;
S3、烧结:
在经步骤S2处理后的瓷片的两浆料层表面各覆一片铜片,然后在烧结炉中进行烧结;
S4、铜蚀刻:
然后采用蚀刻液进行铜蚀刻,将铜片需要蚀刻部位的完全蚀刻掉;然后采用纯水将表面的蚀刻液清洗干净,清洗时纯水的温度为室温;然后在干燥温度为85℃±5℃的条件烘干;
S5、切割:
然后采用光纤激光切割机切割成所需的形状和大小;
S6、清洗:
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