[发明专利]刻蚀机的气体分布板的拆装装置和刻蚀机

说明书

本发明提供一种刻蚀机的气体分布板的拆装装置和刻蚀机，涉及半导体制造技术领域，解决刻蚀机的气体分布板的拆装难度大，且易污染气体分布板的问题，该刻蚀机的气体分布板的拆装装置包括握持件、连接件和固定件，固定件可拆卸的连接在刻蚀机的气体分布板上，握持件和固定件通过连接件连接；握持件上设置有供用户手部握持的握持部。本发明能够有效减小气体分布板的拆装难度，提高刻蚀机的维修效率，同时减少拆装过程气体分布板的污染，优化刻蚀机的维修效果，保证刻蚀机的刻蚀效果，延长刻蚀机的使用寿命。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种刻蚀机的气体分布板的拆装装置和刻蚀机。

背景技术

刻蚀机是半导体加工和微电子制造领域常用的仪器，刻蚀机一般采用等离子刻蚀的方式，将电离气体产生的等离子体通过电场进行加速，从而轰击到待刻蚀的晶圆表面，完成晶圆的刻蚀。

目前的刻蚀机包括真空腔室、刻蚀腔体、供气系统以及真空系统。其中，刻蚀腔体设置在真空腔室中，供气系统与刻蚀腔体连接，并控制气体的流速和流量。晶圆卡盘设置在刻蚀腔体中，以固定和加热该待刻蚀的晶圆。真空系统分别与刻蚀腔体和真空腔室连接，保证两者的真空环境。供气系统中设置有气道和气体分布板，气道的出气口与气体分布板的气孔连通。在刻蚀机的维修过程中，需要将气体分布板拆卸，以进行清理或维修，该气体分布板一般是通过螺钉连接的方式固定在供气系统的壳体上，在拆装时，需要人工手动拆除或安装气体分布板与壳体连接位置的螺钉。

然而，目前的气体分布板的拆装方式容易污染气体分布板，造成刻蚀机的刻蚀腔体的污染，影响晶圆的刻蚀效果，同时降低刻蚀机的维修效率。

发明内容

为了解决背景技术中提到的至少一个问题，本发明提供一种刻蚀机的气体分布板的拆装装置和刻蚀机，能够有效减小气体分布板的拆装难度，提高刻蚀机的维修效率，同时减少拆装过程气体分布板的污染，优化刻蚀机的维修效果，保证刻蚀机的刻蚀效果，延长刻蚀机的使用寿命。

为了实现上述目的，第一方面，本发明提供一种刻蚀机的气体分布板的拆装装置，包括握持件、连接件和固定件，所述固定件可拆卸的连接在刻蚀机的气体分布板上，所述握持件和所述固定件通过所述连接件连接；

所述握持件上设置有供用户手部握持的握持部。

本发明提供的刻蚀机的气体分布板的拆装装置，通过将固定件可拆卸的连接在气体分布板上，避免用户在拆装气体分布板的过程中，手部直接接触气体分布板，同时通过设置握持部，用户手部握持在该握持部上，从而避免手部污染气体分布板，并且减小固定件对气体分布板结构和使用过程的影响。通过在握持件和固定件之间设置连接件，减小握持件和固定件的连接难度，同时增加固定件和握持件之间的间距，从而避免用户握持该握持件时接触气体分布板。并且通过该握持件可以带动连接件以及固定件移动，从而使得固定件带动气体分布板移动，减小气体分布板的拆装难度。提高刻蚀机的维修效率，优化刻蚀机的维修效果，保证刻蚀机的刻蚀效果，延长刻蚀机的使用寿命。

在上述的刻蚀机的气体分布板的拆装装置中，可选的是，所述固定件包括至少一个固定部，所述固定部可拆卸的连接在所述气体分布板上。

这样的设置可以便于固定件与气体分布板连接。

在上述的刻蚀机的气体分布板的拆装装置中，可选的是，所述固定件沿第一方向延伸，所述固定部有两个，两个所述固定部分别位于所述固定件的沿所述第一方向的相对两端。

所述连接件与所述固定件的所述固定部连接。

这样的设置可以提高固定件与气体分布板的连接稳定性，保证该拆装装置能稳定移取气体分布板，减小气体分布板损坏的风险。

在上述的刻蚀机的气体分布板的拆装装置中，可选的是，所述连接件包括第一连接端和第二连接端，所述第一连接端与所述固定件的所述固定部连接，所述第二连接端与所述握持件连接。