[发明专利]刻蚀机的气体分布板的拆装装置和刻蚀机

权利要求书

1.一种刻蚀机的气体分布板的拆装装置，其特征在于，包括握持件、连接件和固定件，所述固定件可拆卸的连接在刻蚀机的气体分布板上，所述握持件和所述固定件通过所述连接件连接；

所述握持件上设置有供用户手部握持的握持部。

2.根据权利要求1所述的刻蚀机的气体分布板的拆装装置，其特征在于，所述固定件包括至少一个固定部，所述固定部可拆卸的连接在所述气体分布板上。

3.根据权利要求2所述的刻蚀机的气体分布板的拆装装置，其特征在于，所述固定件沿第一方向延伸，所述固定部有两个，两个所述固定部分别位于所述固定件的沿所述第一方向的相对两端；

所述连接件与所述固定件的所述固定部连接。

4.根据权利要求3所述的刻蚀机的气体分布板的拆装装置，其特征在于，所述连接件包括第一连接端和第二连接端，所述第一连接端与所述固定件的所述固定部连接，所述第二连接端与所述握持件连接。

5.根据权利要求4所述的刻蚀机的气体分布板的拆装装置，其特征在于，所述第一连接端与所述固定部螺纹连接，所述第一连接端上设置有第一外螺纹，所述固定部上设置有第一连接孔，所述第一连接孔内设置有与所述第一外螺纹啮合的第一内螺纹。

6.根据权利要求5所述的刻蚀机的气体分布板的拆装装置，其特征在于，所述握持件沿所述第一方向延伸，所述握持件沿所述第一方向的相对两端分别设置有连接部，所述握持部位于两个所述连接部之间；

所述连接部与所述第二连接端之间通过紧固件连接。

7.根据权利要求6所述的刻蚀机的气体分布板的拆装装置，其特征在于，所述第二连接端上设置有第二连接孔，所述连接部上设置有第三连接孔，所述第三连接孔为通孔；

所述紧固件穿过所述第三连接孔，并与所述第二连接孔螺纹连接。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的刻蚀机的气体分布板的拆装装置，其特征在于，所述握持部为圆柱体结构，所述握持部的外表面上设置有至少一个供用户手部放置的凹陷部。

9.根据权利要求2-7中任一项所述的刻蚀机的气体分布板的拆装装置，其特征在于，所述固定件上设置有至少一个凹陷的缺口，所述缺口形成所述固定件的避让区域。

10.根据权利要求9所述的刻蚀机的气体分布板的拆装装置，其特征在于，所述缺口位于所述固定件的两个所述固定部之间。

11.根据权利要求1-7中任一项所述的刻蚀机的气体分布板的拆装装置，其特征在于，所述固定件和所述连接件为聚四氟乙烯件；

和/或，所述握持件为铝件或铝合金件，所述握持件的外部设置有涂层，所述涂层为氟化物层。

12.根据权利要求3-7中任一项所述的刻蚀机的气体分布板的拆装装置，其特征在于，所述固定件为长方体结构，所述固定件沿所述第一方向的长度范围为300-350mm，所述固定件的宽度范围为20-50mm，所述固定件的厚度范围为10-15mm；

和/或，所述连接件的长度范围为40-60mm；

和/或，所述握持件沿所述第一方向的长度范围为300-350mm，所述握持部的直径为20-30mm。

13.一种刻蚀机，其特征在于，包括真空的反应腔室，所述反应腔室内设置有气体分布板和权利要求1-12中任一项所述的刻蚀机的气体分布板的拆装装置；

所述刻蚀机的气体分布板的拆装装置的固定件可拆卸的连接在所述气体分布板上。