[发明专利]成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法

说明书

本发明涉及成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法。成膜装置具备：支承被成膜物的被成膜物支承部和旋转接头，所述旋转接头具有与被成膜物支承部连接并旋转的旋转部和设置在旋转部的周围并固定于成膜室的固定部，固定部具有供给液体的供给口和排出液体的排出口，旋转部具有将从供给口供给的液体向被成膜物支承部供给的供给流路和将从被成膜物支承部排出的液体向排出口排出的排出流路，构成供液体按照供给口、供给流路、被成膜物支承部、排出流路、排出口的顺序流动的液体流路，成膜装置还具备：将从排出口排出的液体向供给口供给的循环路径、配置于循环路径的泵和阀、以及根据成膜装置的运转状态对泵和阀进行控制的控制部。

技术领域

本发明涉及成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法。

背景技术

近年来，作为显示器的一种，具备使用了有机材料的电场发光的有机EL元件的有机EL装置备受关注。在制造该有机EL装置时，在具有成膜室的成膜装置中，有在基板上附着金属电极材料或有机材料等成膜材料而进行成膜的工序。

在成膜装置的成膜室内，通过对收容在容器内的蒸镀材料进行加热或对靶进行溅射，使成膜材料飞溅而附着于基板，在基板上形成膜。此时，出于形成均匀的膜等目的，有时在成膜室内一边使基板旋转一边进行成膜。另外，在成膜室内成为高温的情况下，有时在成膜室内在支承基板的部件的内部设置供冷却液进入的空间，通过使冷却液在该空间与成膜室的外部之间循环，从而对基板进行冷却来防止成膜材料的品质劣化。

在专利文献1(日本特开2012-057755号公报)中公开了如下的旋转接头以及溅射装置：为了高效地对靶进行冷却，通过改变冷却水的流路，从而以大流量的冷却水对使用中的靶进行集中冷却，对于未使用的靶，以比较少量的冷却水进行冷却。

在专利文献2(日本特开2006-322016号公报)中公开了如下的真空蒸镀装置：能够在一定程度的高温下控制蒸镀时的基板温度，在蒸镀结束后迅速对基板进行冷却并取出。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-057755号公报

专利文献2：日本特开2006-322016号公报

发明要解决的课题

但是，在上述那样的装置中，在进行成膜期间基本上需要始终使冷却液循环。其结果是，存在在旋转接头中的各部件的连接部分(尤其是从旋转力作用的旋转体与框体之间)漏出冷却液的问题。

即便在旋转体与框体之间配置有磁性密封件、O型环等密封部件，也会在一定程度上产生该冷却液的泄漏。在使用氟系非活性液体等比较高价的材料作为冷却液的情况下，由漏出引起的损失对成本方面造成的影响较大。

发明内容

本发明是鉴于上述课题而作出的，其目的在于提供一种用于抑制在成膜装置的旋转接头中使用的液体漏出的技术。

用于解决课题的方案

本发明采用以下结构。即，

一种成膜装置，在成膜室中在被成膜物上进行成膜，其特征在于，

所述成膜装置具备：

被成膜物支承部，所述被成膜物支承部支承所述被成膜物；以及

旋转接头，所述旋转接头具有旋转部和固定部，所述旋转部与所述被成膜物支承部连接并旋转，所述固定部设置在所述旋转部的周围并固定于所述成膜室，

所述固定部具有供给液体的供给口和排出液体的排出口，

所述旋转部具有供给流路和排出流路，所述供给流路将从所述供给口供给的液体向所述被成膜物支承部供给，所述排出流路将从所述被成膜物支承部排出的液体向所述排出口排出，