[发明专利]石墨盘翻转式GaN单晶衬底激光预剥离集成腔

权利要求书

1.石墨盘翻转式GaN单晶衬底激光预剥离集成腔，其特征在于，包括：

腔壳体；

翻转机构；翻转机构的作动输出端与腔壳体连接，并用于对腔壳体的翻转驱动；

HVPE通道连接筒；腔壳体内部通过HVPE通道连接筒与HVPE设备连接；

摄像头定位窗口、激光预剥离窗口；摄像头定位窗口、激光预剥离窗口均开设在腔壳体上；

用于实现中转托盘(13)在托盘工位和激光预剥离工位之间的工位转换的中转托盘模块；中转托盘模块安装在腔壳体上，其作动部分置于腔壳体内部，其作动部分与中转托盘(13)连接；

托盘工位模块(22)；托盘工位模块(22)包括用于保温托盘(17)抓紧与放开的固定模块、用于固定模块及保温托盘(17)旋转的旋转模块、用于保温托盘(17)、固定模块、旋转模块升降控制的升降模块；

其中，中转托盘(13)上的GaN晶片槽位与保温托盘(17)盘面的GaN晶片槽位一一对应，用于全盘承接保温托盘(17)上所有的GaN单晶衬底片。

2.根据权利要求1所述的石墨盘翻转式GaN单晶衬底激光预剥离集成腔，其特征在于，翻转机构包括：

翻转轴支承座(2)；

轴承A(3)；轴承A(3)安装在翻转轴支承座(2)内；

翻转驱动轴(4)；轴承A(3)套装在翻转驱动轴(4)上，翻转驱动轴(4)的一端与腔壳体的第一端连接。

3.根据权利要求2所述的石墨盘翻转式GaN单晶衬底激光预剥离集成腔，其特征在于，翻转机构还包括：

通道连接支承座(14)；

轴承B(15)；轴承B(15)安装在通道连接支承座(14)内；轴承B(15)套装在腔壳体的第二端上；翻转轴支承座(2)和通道连接支承座(14)均安装在底座(1)上。

4.根据权利要求2所述的石墨盘翻转式GaN单晶衬底激光预剥离集成腔，其特征在于，中转托盘模块包括：

电机A(10)；电机A(10)安装在腔壳体外壁上；

配重块(8)；

转臂(9)；配重块(8)和转臂(9)均置于腔壳体内部，电机A(10)的转轴穿过腔壳体后与转臂连接，转臂的两端分别与配重块(8)和中转托盘(13)连接；转臂转动至第一位置时候，通过在摄像头定位窗口处外置摄像头，以实时观察LLO集成腔内整个保温托盘(17)表面的GaN单晶衬底片的分布位置及状态；转臂转动至第二位置时候，通过在激光预剥离窗口处外置激光设备探头，以实现通过激光预剥离窗口将激光引入到中转托盘(13)上，进行GaN单晶衬底片的预剥离。

5.根据权利要求4所述的石墨盘翻转式GaN单晶衬底激光预剥离集成腔，其特征在于，中转托盘(13)包括：

水冷保护罩(131)；

电热盘(132)；

石墨盘(133)；

水循环腔(134)；

其中在转臂(9)内设置有进水通道(91)、出水通道(92)、电缆通道(93)；进水通道(91)的第一端、出水通道(92)的第一端、电缆通道(93)的第一端均与外部连通，进水通道(91)的第二端和出水通道(92)的第二端分别与水循环腔(134)的进水端和出水端连接，电缆布设在电缆通道(93)内，电缆与电热盘(132)电性连接，水冷保护罩(131)和电热盘(132)均与石墨盘(133)热传递连接。

6.根据权利要求4所述的石墨盘翻转式GaN单晶衬底激光预剥离集成腔，其特征在于，

摄像头定位窗口包括透明的石英玻璃A(11)、玻璃固连块A(12)，石英玻璃A(11)通过玻璃固连块A(12)固定在腔壳体上；

激光预剥离窗口包括透明的石英玻璃B(24)、玻璃固连块B(23)，石英玻璃B(24)通过玻璃固连块B(23)固定在腔壳体上。