[发明专利]系统级封装结构及其制作方法和电子设备在审

专利信息
申请号: 202010750420.7 申请日: 2020-07-30
公开(公告)号: CN114068332A 公开(公告)日: 2022-02-18
发明(设计)人: 马会财;佘勇;肖甜 申请(专利权)人: 华为技术有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;H01L23/498
代理公司: 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 代理人: 肖丽
地址: 518129 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 系统 封装 结构 及其 制作方法 电子设备
【权利要求书】:

1.一种系统级封装结构的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:

提供模板,所述模板开设有通孔;

将导电材料填充于所述通孔内;

提供基板,所述基板设置有焊盘;

经烧结的所述导电材料形成导电柱,所述导电柱的一端与所述焊盘电连接。

2.根据权利要求1所述的系统级封装结构的制作方法,其特征在于,经烧结的所述导电材料形成导电柱,所述导电柱的一端与所述焊盘电连接包括:

将填充有所述导电材料的所述模板转移到所述基板上,使所述通孔与所述焊盘相对应;

然后进行烧结,使所述导电材料形成所述导电柱,所述导电柱的一端与所述焊盘电连接;

去除所述模板。

3.根据权利要求1所述的系统级封装结构的制作方法,其特征在于,经烧结的所述导电材料形成导电柱,所述导电柱的一端与所述焊盘电连接包括:

将填充有所述导电材料的所述模板进行烧结,使所述导电材料形成所述导电柱;

将带有所述导电柱的所述模板转移到所述基板上,使所述通孔与所述焊盘相对应,并使所述导电柱的一端与所述焊盘电连接;

去除所述模板。

4.根据权利要求1所述的系统级封装结构的制作方法,其特征在于,经烧结的所述导电材料形成导电柱,所述导电柱的一端与所述焊盘电连接包括:

将填充有所述导电材料的所述模板转移到所述基板上,使所述通孔与所述焊盘相对应;

去除所述模板;

然后进行烧结,使所述导电材料形成所述导电柱,所述导电柱的一端与所述焊盘电连接。

5.根据权利要求1所述的系统级封装结构的制作方法,其特征在于,将导电材料填充于所述通孔内包括:

先将所述模板设置于转移载板上,而后再将所述导电材料填充于所述通孔内。

6.根据权利要求5所述的系统级封装结构的制作方法,其特征在于,采用印刷的方式,将所述导电材料填充于所述通孔内。

7.根据权利要求1所述的系统级封装结构的制作方法,其特征在于,所述焊盘包括多个焊盘,所述多个焊盘形成焊盘阵列,所述通孔包括多个通孔,所述多个通孔形成通孔阵列,所述导电柱包括多个导电柱,所述多个导电柱形成导电柱阵列;

所述通孔阵列与所述焊盘阵列相对应配置,以使所形成的所述导电柱阵列与所述焊盘阵列相对应电连接。

8.根据权利要求1所述的系统级封装结构的制作方法,其特征在于,所述基板包括相对设置的第一表面和第二表面;

在所述基板的所述第一表面安装有一个或多个电子元件,在所述基板的所述第二表面安装有一个或多个电子元件;

在所述基板的所述第一表面和/或所述第二表面设置有所述焊盘。

9.根据权利要求1所述的系统级封装结构的制作方法,其特征在于,所述导电柱包括金属柱、非金属柱或由金属材料和非金属材料复合而成的复合柱。

10.根据权利要求1所述的系统级封装结构的制作方法,其特征在于,所述导电材料包括金属材料、碳素材料或高分子材料中的一种或多种;

所述导电材料的形态包括粉末或膏体。

11.根据权利要求1所述的系统级封装结构的制作方法,其特征在于,所述通孔的开口尺寸范围为10μm-1mm;

所述通孔包括多个通孔,相邻两个所述通孔之间的间距范围为10μm-1mm。

12.根据权利要求1所述的系统级封装结构的制作方法,其特征在于,所述模板的厚度范围为10μm-1mm。

13.根据权利要求1所述的系统级封装结构的制作方法,其特征在于,所述烧结的温度为100℃-280℃。

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