[发明专利]系统级封装结构及其制作方法和电子设备在审
| 申请号: | 202010750420.7 | 申请日: | 2020-07-30 |
| 公开(公告)号: | CN114068332A | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
| 发明(设计)人: | 马会财;佘勇;肖甜 | 申请(专利权)人: | 华为技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L23/498 |
| 代理公司: | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人: | 肖丽 |
| 地址: | 518129 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 系统 封装 结构 及其 制作方法 电子设备 | ||
1.一种系统级封装结构的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:
提供模板,所述模板开设有通孔;
将导电材料填充于所述通孔内;
提供基板,所述基板设置有焊盘;
经烧结的所述导电材料形成导电柱,所述导电柱的一端与所述焊盘电连接。
2.根据权利要求1所述的系统级封装结构的制作方法,其特征在于,经烧结的所述导电材料形成导电柱,所述导电柱的一端与所述焊盘电连接包括:
将填充有所述导电材料的所述模板转移到所述基板上,使所述通孔与所述焊盘相对应;
然后进行烧结,使所述导电材料形成所述导电柱,所述导电柱的一端与所述焊盘电连接;
去除所述模板。
3.根据权利要求1所述的系统级封装结构的制作方法,其特征在于,经烧结的所述导电材料形成导电柱,所述导电柱的一端与所述焊盘电连接包括:
将填充有所述导电材料的所述模板进行烧结,使所述导电材料形成所述导电柱;
将带有所述导电柱的所述模板转移到所述基板上,使所述通孔与所述焊盘相对应,并使所述导电柱的一端与所述焊盘电连接;
去除所述模板。
4.根据权利要求1所述的系统级封装结构的制作方法,其特征在于,经烧结的所述导电材料形成导电柱,所述导电柱的一端与所述焊盘电连接包括:
将填充有所述导电材料的所述模板转移到所述基板上,使所述通孔与所述焊盘相对应;
去除所述模板;
然后进行烧结,使所述导电材料形成所述导电柱,所述导电柱的一端与所述焊盘电连接。
5.根据权利要求1所述的系统级封装结构的制作方法,其特征在于,将导电材料填充于所述通孔内包括:
先将所述模板设置于转移载板上,而后再将所述导电材料填充于所述通孔内。
6.根据权利要求5所述的系统级封装结构的制作方法,其特征在于,采用印刷的方式,将所述导电材料填充于所述通孔内。
7.根据权利要求1所述的系统级封装结构的制作方法,其特征在于,所述焊盘包括多个焊盘,所述多个焊盘形成焊盘阵列,所述通孔包括多个通孔,所述多个通孔形成通孔阵列,所述导电柱包括多个导电柱,所述多个导电柱形成导电柱阵列;
所述通孔阵列与所述焊盘阵列相对应配置,以使所形成的所述导电柱阵列与所述焊盘阵列相对应电连接。
8.根据权利要求1所述的系统级封装结构的制作方法,其特征在于,所述基板包括相对设置的第一表面和第二表面;
在所述基板的所述第一表面安装有一个或多个电子元件,在所述基板的所述第二表面安装有一个或多个电子元件;
在所述基板的所述第一表面和/或所述第二表面设置有所述焊盘。
9.根据权利要求1所述的系统级封装结构的制作方法,其特征在于,所述导电柱包括金属柱、非金属柱或由金属材料和非金属材料复合而成的复合柱。
10.根据权利要求1所述的系统级封装结构的制作方法,其特征在于,所述导电材料包括金属材料、碳素材料或高分子材料中的一种或多种;
所述导电材料的形态包括粉末或膏体。
11.根据权利要求1所述的系统级封装结构的制作方法,其特征在于,所述通孔的开口尺寸范围为10μm-1mm;
所述通孔包括多个通孔,相邻两个所述通孔之间的间距范围为10μm-1mm。
12.根据权利要求1所述的系统级封装结构的制作方法,其特征在于,所述模板的厚度范围为10μm-1mm。
13.根据权利要求1所述的系统级封装结构的制作方法,其特征在于,所述烧结的温度为100℃-280℃。
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