[发明专利]一种带旋转式料架的氧化炉在审
申请号: | 202010548129.1 | 申请日: | 2020-06-16 |
公开(公告)号: | CN111696898A | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
发明(设计)人: | 徐俊 | 申请(专利权)人: | 杭州易正科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人: | 曹立成 |
地址: | 310000 浙江省杭州市西*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 旋转 式料架 氧化 | ||
1.一种带旋转式料架的氧化炉,包括石英管(1)和石英门(2),石英管(1)的内壁上固定有加热丝,石英门(2)的内侧壁上成型有凸台(21),凸台(21)插接在石英管(1)内,其特征在于:凸台(21)的内侧端面上成型有圆形的沉台(22),沉台(22)的内壁上成型有环形的卡槽(23),所述的石英管(1)内插设有旋转料架(3);所述石英门(2)的外壁上成型有若干支耳(23),支耳(23)上插接固定有导向杆(8),石英管(1)的外壁上成型有若干导向管(11),导向杆(8)插接在石英管(1)的导向管(11)内;
所述的旋转料架(3)包括圆形的右端板(31)和左端板(32),左端板(32)插接在石英门(2)的沉台(22)并成型有环形的挡边,左端板(32)的挡边上成型有环形的卡环(321),卡环(321)插接在卡槽(23)内;右端板(31)和左端板(32)之间插设有两根定托杆(34)和一个动托杆(33),定托杆(34)和动托杆(33)的右端分别成型有第二螺柱(342)和第一螺柱(332),右端板(31)和左端板(32)分别成型有相对并呈圆弧形的右导向槽(311)和左导向槽(322),动托杆(33)的第一螺柱(332)和定托杆(34)的第二螺柱(342)分别穿过右端板(31)的右导向槽(311)和右端板(31)螺接有螺母(35);定托杆(34)和动托杆(33)的右端均螺接有螺栓(37),螺栓(37)插接在左端板(32)上和左端板(32)的左导向槽(322)内;所述动托杆(33)和定托杆(34)上分别成型有若干道相对的第一环槽(331)和第二环槽(342);所述右端板(31)的中部固定有石英轴(36),石英轴(36)穿过石英管(1)插套固定有从动齿轮(4),从动齿轮(4)和主动齿轮(5)相啮合,主动齿轮(5)插套固定在电机(6)的转轴上,电机(6)固定在电机支架(7)上,电机支架(7)固定在石英门(2)上。
2.根据权利要求1所述的一种带旋转式料架的氧化炉,其特征在于:所述定托杆(34)上第一环槽(331)的数量和动托杆(33)上第二环槽(342)的数量相等,第一环槽(331)或第二环槽(342)分别呈线性均匀分布在定托杆(34)或动托杆(33)上。
3.根据权利要求2所述的一种带旋转式料架的氧化炉,其特征在于:所述动托杆(33)和定托杆(34)绕右端板(31)的中心轴线呈环形均匀分布,右端板(31)上右导向槽(311)的圆弧圆心或左端板(32)上左导向槽(322)的圆弧圆心均位于右端板(31)的中心轴线。
4.根据权利要求3所述的一种带旋转式料架的氧化炉,其特征在于:所述右端板(31)的中心成型有中心孔,石英管(1)的内端面成型有支撑轴(13),支撑轴(13)上插套有滑动轴承(40),滑动轴承(40)插接在右端板(31)的中心孔内。
5.根据权利要求1所述的一种带旋转式料架的氧化炉,其特征在于:所述石英管(1)上导向管(11)的内壁上成型有贯穿导向管(11)外侧壁的插槽(12),插槽(12)内插接有限位杆(10),限位杆(10)固定在导向杆(8)的后端,所述的导向管(11)上插套有“冂”字形的连接座(20),连接座(20)的两端固定在限位杆(10)上,连接座(20)螺接有螺钉(30),螺钉(30)的末端抵靠在导向管(11)上。
6.根据权利要求5所述的一种带旋转式料架的氧化炉,其特征在于:所述的导向杆(8)设有三根,导向杆(8)绕石英管(1)的中心轴线呈环形均匀分布。
7.根据权利要求1所述的一种带旋转式料架的氧化炉,其特征在于:所述石英门(2)的外端面上固定连接有拉手(9)。
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