[发明专利]一种石墨坩埚及其制备方法在审
| 申请号： | 202010548109.4 | 申请日： | 2020-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN111732448A | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 叶宏伦;钟健;钟其龙;刘崇志;张本义;姜政余 | 申请（专利权）人： | 璨隆科技发展有限公司;阿克苏爱矽卡半导体技术研发有限公司;新疆璨科半导体材料制造有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/87 | 分类号： | C04B41/87;C30B23/00;C30B29/36;C04B35/56;C04B35/622 |
| 代理公司： | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人： | 罗恒兰 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 坩埚 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种石墨坩埚，其特征在于：包括坩埚本体，所述坩埚本体内侧面形成有碳化铌膜层。
2.根据权利要求1所述的一种石墨坩埚，其特征在于：所述碳化铌膜层的厚度为5μm-100μm。
3.一种石墨坩埚的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
步骤1、将石墨坩埚放入超声波清洗机中，采用去离子水进行清洗，清洗干净后取出；
步骤2、将石墨坩埚再次放入超声波清洗机中，加入去离子水，并加入研磨过的氧化铌Nb2O5细粉末，每间隔一段时间开关超声波震荡，3个小时以上；期间不断的加入氧化铌Nb2O5细粉末；
步骤3、完成步骤2后，取出石墨坩埚并将其风干；然后将石墨坩埚放入PTV长晶炉内；开始抽真空，直到水汽完全被抽干；接着，注入保护气体氩气；
步骤4、利用PVT长晶炉的加热器对石墨坩埚加热至1600~2100℃，进行热碳还原反应，即Nb2O5 + 7C = 2NbC + 5CO；
步骤5、进行步骤4，1小时以上；然后开始降温，等石墨坩埚冷却至室温后取出，即完成所有工序。
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