[发明专利]氮气密闭烘烤机台及基板进出烘烤装置的方法

权利要求书

1.一种氮气密闭烘烤机台，适用于烘烤基板；其特征在于，该氮气密闭烘烤机台包含：

框架，包括第一端及相反于该第一端的第二端；

烘烤装置，设置于该框架并包括两个转换箱、烤炉及两个分别设置于所述每一个转换箱的升降机构，所述烤炉的两端分别连接所述转换箱，每一转换箱具有连接该烤炉的连接壳体、设置于其连接壳体上方并连通其连接壳体的充气壳体及设置于其连接壳体及其充气壳体之间呈环形的内凸缘，该连接壳体及该内凸缘界定出连通该烤炉的连通室，该充气壳体及该内凸缘界定出转换室，每一升降机构包括可上下移动的升降台，每一升降台具有顶壁、与其顶壁相间隔的底壁及多个分别连接其顶壁及其底壁的支撑柱，每一升降台可在下降位置及上升位置间移动，在该下降位置时，该顶壁抵靠相应的该内凸缘的上表面，该转换室及相应的该连通室被相应的该顶壁间隔开，在该上升位置时，该底壁抵靠相应的该内凸缘的下表面，该转换室及相应的该连通室被相应的该底壁间隔开；及

进料装置，设置于该框架的该第一端处，用以将该基板结合于载具，并将该载具连同该基板输送至该烘烤装置的其中一转换箱内。

2.如权利要求1所述的氮气密闭烘烤机台，其特征在于：每一转换箱还具有可活动地设置于其连接壳体及其充气壳体的进出阀门，该充气壳体具有面向该进料装置的进出口，该进出阀门可活动地封闭该进出口。

3.如权利要求1所述的氮气密闭烘烤机台，其特征在于：该升降机构的该升降台还具有一对设置于所述支撑柱的抵靠架，以支撑进入该转换箱的该载具及该基板。

4.如权利要求1所述的氮气密闭烘烤机台，其特征在于：该升降机构还具有多个穿设该底壁上下延伸的导杆及至少一连接该升降台用以驱动该升降台沿着所述导杆上下移动的驱动件。

5.如权利要求2所述的氮气密闭烘烤机台，其特征在于：该充气壳体具有一对彼此间隔的侧壁，每一侧壁具有多个通孔，该烘烤装置还包括两个分别设置于所述转换箱的充气机构，每一充气机构设置于对应的转换箱的充气壳体上，并具有风扇、驱动其风扇的马达及连通对应的该充气壳体的侧壁的送风壳体，该风扇位于对应的该送风壳体内，通过该送风壳体能将气流经由对应的所述侧壁的通孔吹送至对应的该充气壳体内。

6.如权利要求1所述的氮气密闭烘烤机台，其特征在于：所述氮气密闭烘烤机台还包含设置于该框架的该第二端处的出料装置，该出料装置用以接收来自另一转换箱的该载具及该基板，并将该载具及该基板分离。

7.一种基板进出烘烤装置的方法，包含以下步骤：

基板进入烘烤装置的第一转换箱的第一转换室；

对该第一转换室填充氮气后，该基板借由第一升降台自该第一转换室进入该第一转换箱的第一连通室，该第一转换室及该第一连通室可被该第一升降台间隔开；

该基板由该第一连通室进入该烘烤装置的烤炉；

该基板由该烤炉进入该烘烤装置的第二转换箱的第二连通室；

该基板借由第二升降台自该第二转换箱的该第二连通室进入该第二转换箱的第二转换室，该第二转换室及该第二连通室可被该第二升降台间隔开；及

该基板离开该第二转换室。