[发明专利]一种体声波器件及其制作方法、滤波装置

说明书

本申请公开了一种体声波器件，包括由下至上依次叠加的衬底、下电极层、压电层、上电极层；衬底具有预设形状的空腔，空腔的深度小于衬底的厚度，下电极层、压电层、上电极层具有多个贯通的横截面为沟槽状的第一释放孔，且第一释放孔对应预设形状的边缘。本申请体声波器件的下电极层、压电层、上电极层中具有多个贯通的第一释放孔，第一释放孔的横截面为沟槽状，面积大，且对应空腔的边缘，通过第一释放孔对牺牲层进行释放时可以有效加快牺牲层的刻蚀速度，且由于每个第一释放孔的横截面积大，还可以保证牺牲层的刻蚀无残留，进而保证体声波器件性能不会衰减。本申请还提供一种具有上述优点的体声波器件制作方法和滤波装置。

技术领域

本申请涉及滤波装置技术领域，特别是涉及一种体声波器件及其制作方法、滤波装置。

背景技术

声波谐振器按振动模式一般分为声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)器件和体声波(Bulk Acoustic Wave,BAW)器件。BAW器件一般包括上电极层，压电层，下电极层组成的三明治结构，产生谐振，下电极的下方是空气腔或者声学反射层。BAW器件在高频具有更高的Q值和更好的功率承受能力，因此更适用于新一代无线通信的应用。

对于具有空气腔的BAW器件，空气腔位于衬底中，通过在衬底中制作多边形的凹槽并填充牺牲层，然后再刻蚀释放牺牲层以形成空气腔。目前在制作空气腔的过程中，在多边形的各个顶点制作很小的圆形释放孔，导致刻蚀牺牲层的材料流入空气腔内较慢，同时容易引起牺牲层刻蚀不干净、有残留，导致BAW器件的Q值、等效耦合系数降低。

因此，如何解决上述技术问题应是本领域技术人员重点关注的。

发明内容

本申请的目的是提供一种体声波器件及其制作方法、滤波装置，以在保证器件机械强度的前提下，快速且干净地刻蚀牺牲层。

为解决上述技术问题，本申请提供一种体声波器件，包括：

由下至上依次叠加的衬底、下电极层、压电层、上电极层；

所述衬底具有预设形状的空腔，所述空腔的深度小于所述衬底的厚度，所述下电极层、所述压电层、所述上电极层具有多个贯通的横截面为沟槽状的第一释放孔，且所述第一释放孔对应所述预设形状的边缘。

可选的，还包括：

贯通所述下电极层、所述压电层、所述上电极层的第二释放孔，所述第二释放孔对应所述预设形状的中心。

可选的，所述预设形状为不规则多边形，且所述预设形状的任意两条边不平行、任意两个角的角度不相等。

可选的，所述不规则多边形中任意相邻的两条边通过弧线相连。

可选的，所述不规则多边形的边长为具有凸起的边长，所述第一释放孔对应所述凸起。

可选的，所述预设形状的每一条所述边缘对应多个所述第一释放孔。

可选的，所述第二释放孔的数量为多个。

本申请还提供一种滤波装置，所述滤波装置包括至少一个如上述任一种所述的体声波器件。

本申请还提供一种体声波器件制作方法，包括：

获得一衬底；

对所述衬底进行进行图形化处理形成预设形状的凹槽，并在所述凹槽中沉积牺牲层；

对所述衬底的上表面进行CMP处理；

在所述衬底的上表面依次生长下电极层、压电层、上电极层，并在所述下电极层、所述压电层、所述上电极层中制作横截面为沟槽状的第一释放孔，且所述第一释放孔对应所述预设形状的边缘；

刻蚀所述牺牲层，得到体声波器件。