[发明专利]一种实现电子束物理气相沉积自动蒸发陶瓷靶材的装置

权利要求书

1.一种实现电子束物理气相沉积自动蒸发陶瓷靶材的装置，其特征在于，包括：升降组件(1)、旋转组件(2)和水冷组件(3)；其中，

所述升降组件(1)，用于控制靶材的上升速度，包括升降电机(4)、升降主动齿轮(5)、升降从动齿轮(6)、第一螺杆(7)、第二螺杆(8)、升降滑块(9)、升降杆(10)及升降架(11)；其中，所述升降电机(4)与所述升降主动齿轮(5)连接，用于控制所述升降主动齿轮(5)转动；所述升降主动齿轮(5)与所述升降从动齿轮(6)外啮合，用于带动所述升降从动齿轮(6)转动；所述升降架(11)位于所述升降从动齿轮(6)的上方，且位于所述第一螺杆(7)和所述第二螺杆(8)的下方，所述升降从动齿轮(6)用于通过所述升降架(11)带动所述第一螺杆(7)和所述第二螺杆(8)转动；所述第一螺杆(7)和所述第二螺杆(8)分别贯穿所述升降滑块(9)且与所述升降滑块(9)螺纹配合，用于使所述升降滑块(9)上下移动；所述升降滑块(9)位于所述升降杆(10)的下方且与所述升降杆(10)连接，用于带动所述升降杆(10)上下移动；

所述旋转组件(2)，用于控制靶材在蒸发过程中按照预设速度进行旋转，包括磁流体密封器(12)、水冷坩埚(13)、旋转主动齿轮(14)、旋转从动齿轮(15)、旋转电机(16)及转接口法兰(17)；其中，所述旋转电机(16)与所述旋转主动齿轮(14)连接，用于控制所述旋转主动齿轮(14)转动；所述旋转主动齿轮(14)与所述旋转从动齿轮(15)外啮合，用于带动所述旋转从动齿轮(15)转动；所述磁流体密封器(12)位于所述旋转从动齿轮(15)的上方且与所述旋转从动齿轮(15)键连，所述水冷坩埚(13)位于所述磁流体密封器(12)的上方且与所述磁流体密封器(12)固定连接；所述旋转从动齿轮(15)位于所述升降组件(1)的上方，通过转接口法兰(17)与所述升降组件(1)连接，用于带动所述升降组件(1)、所述磁流体密封器(12)及所述水冷坩埚(13)一起转动；

所述升降杆(10)依次贯穿所述转接口法兰(17)、所述旋转从动齿轮(15)和所述磁流体密封器(12)，所述升降杆(10)的顶部与所述水冷坩埚(13)内靶材的底部接触，用于使靶材在蒸发过程中上升；其中，所述升降杆(10)的长度不小于所述靶材的厚度；

所述水冷组件(3)，用于对所述升降杆(10)、所述磁流体密封器(12)和所述水冷坩埚(13)进行冷却，包括水电滑环(18)和导水管(19)；其中，所述水电滑环(18)包括转动端(20)和静止端(21)上下两部分，所述转动端(20)通过金属板(22)与所述升降架(11)固定连接，所述转动端(20)随所述升降组件(1)中的升降架(11)一起转动；

所述水电滑环(18)的静止端(21)设有第一进水口(23)和第一出水口(24)，所述水电滑环(18)的转动端(20)设有第二进水口(25)和第二出水口(26)；所述第二进水口(25)与所述第一出水口(24)连通，所述第二出水口(26)与所述第一进水口(23)连通；

所述升降杆(10)的表面设有第三进水口(27)和第三出水口(28)，内部设有将所述第三进水口(27)和所述第三出水口(28)连通的第一水流通道；

所述磁流体密封器(12)和所述水冷坩埚(13)均为中空的圆筒结构；所述磁流体密封器(12)的表面设有第四进水口(29)和第四出水口(30)，顶部圆周设有多组第五进水口(31)和第五出水口(32)，内部设有将所述第四进水口(29)和所有第五出水口(32)连通的第二水流通道以及将所述第四出水口(30)和所有第五进水口(31)连通的第三水流通道；所述水冷坩埚(13)的底部圆周设有与各所述第五出水口(32)一一对应连通的多个第六进水口(33)以及与各所述第五进水口(31)一一对应连通的多个第六出水口(34)，内部设有将各所述第六进水口(33)和各所述第六出水口(34)连通的第四水流通道；

所述升降杆(10)表面的第三进水口(27)通过所述导水管(19)与所述转动端(20)表面的第二出水口(26)连通，所述升降杆(10)表面的第三出水口(28)通过所述导水管(19)与所述磁流体密封器(12)表面的第四进水口(29)连通，所述磁流体密封器(12)表面的第四出水口(30)通过导水管(19)与所述转动端(20)表面的第二进水口(25)连通；所述导水管(19)随所述升降杆(10)、所述转动端(20)和所述磁流体密封器(12)一起转动。