[发明专利]显示装置及其制造方法在审

专利信息
申请号: 202010348090.9 申请日: 2020-04-28
公开(公告)号: CN111863883A 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: 李承宰;徐硕焄;尹大相;李济镐;郑素娟 申请(专利权)人: 三星显示有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32;H01L51/52
代理公司: 北京钲霖知识产权代理有限公司 11722 代理人: 李英艳;玉昌峰
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 显示装置 及其 制造 方法
【说明书】:

本公开为了外部光引起的膜改性最小化的显示装置及其制造方法,提供一种显示装置的制造方法,包括:在基板上形成绝缘无机膜的步骤;在所述绝缘无机膜上方形成显示要件的步骤;在所述显示要件上形成第一密闭无机膜的步骤;向所述第一密闭无机膜上照射紫外线(UV)波长的光的步骤;以及在所述第一密闭无机膜上形成密闭有机膜的步骤。

技术领域

本公开涉及一种显示装置及其制造方法,更详细而言涉及一种外部光引起的膜改性最小化的显示装置及其制造方法。

背景技术

在显示装置中,有机发光显示装置具有不仅视角宽、对比度优异而且响应速度快的优点,因此作为下一代显示装置备受瞩目。

通常,有机发光显示装置在基板上形成薄膜晶体管以及有机发光元件,有机发光元件通过自发光来工作。这种有机发光显示装置既用作手机等之类小型产品的显示部,也用作电视机等之类大型产品的显示部。

有机发光元件具有易受水分以及氧气影响的特性。因此,可以在有机发光元件上具备封闭层来密封有机发光元件,从而保护有机发光元件免受外部的影响。这种封闭层具有有机膜和无机膜交替层叠的多层结构。

发明内容

但是,这种以往的显示装置中存在如下问题:随着封闭层中所包括的无机膜因外部光而发生膜改性,导致有机发光元件的光学特性不良以及显示装置的可靠性降低。

本公开用于解决包括上述那样问题在内的各种问题,目的在于提供一种外部光引起的膜改性最小化的显示装置及其制造方法。但是,这种课题是示例性的,本公开的范围不限于此。

根据本公开的一观点,提供一种显示装置的制造方法,包括:在基板上形成绝缘无机膜的步骤;在所述绝缘无机膜上方形成显示要件的步骤;在所述显示要件上形成第一密闭无机膜的步骤;向所述第一密闭无机膜上照射紫外线(UV)波长的光的步骤;以及在所述第一密闭无机膜上形成密闭有机膜的步骤。

根据本实施例,可以是,所述显示装置的制造方法还包括:在所述密闭有机膜上形成第二密闭无机膜的步骤;以及向所述第二密闭无机膜上照射紫外线(UV)波长的光的步骤。

根据本实施例,可以是,向所述第一密闭无机膜上照射紫外线(UV)波长的光的步骤是,在所述第一密闭无机膜中产生氢气(H2)的步骤。

根据本实施例,可以是,与所述绝缘无机膜相比,所述第一密闭无机膜具有更少的氢(H)基含量。

根据本实施例,可以是,所述第一密闭无机膜包含氮化硅(SiNX)以及氮氧化硅(SiOXNY)中的至少一个。

根据本实施例,可以是,在向所述第一密闭无机膜上照射紫外线(UV)波长的光的步骤之后,所述第一密闭无机膜满足下述反应式1。

[反应式1]

N-Hx+Si-Hy→N-Hx-1+Si-Hy-1+H2

Si+N→Si-N

根据本实施例,可以是,所述第一密闭无机膜包含氧化硅(SiOX)。

根据本实施例,可以是,在向所述第一密闭无机膜上照射紫外线(UV)波长的光的步骤之后,所述第一密闭无机膜满足下述反应式2。

[反应式2]

O-Hx+Si-Hy→O-Hx-1+Si-Hy-1+H2

Si+O→Si-O

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星显示有限公司,未经三星显示有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010348090.9/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top