[发明专利]一种单驱动两侧夹紧装置及整片机构

说明书

本发明公开了一种单驱动两侧夹紧装置及整片机构，所述的单驱动两侧夹紧装置包括升降板、安装在所述的升降板上的第二气缸、安装在所述的第二气缸上的能够在第二气缸的驱动下沿Y向移动的驱动板，所述的驱动板为楔形结构，驱动板的前后两侧具有一斜边，所述的驱动板的小头位于驱动板的伸出方向，所述的驱动板的大头位于驱动板缩回方向，所述的升降板上设有一沿X向延伸的滑轨、两个分别位于驱动板前后两侧的夹紧组件，所述的驱动板的前后两侧还分别设置有弹簧拉力机构，所述的弹簧拉力机构的一端固定于所述的升降板上，另一端固定在所述的夹紧组件上。

技术领域

本发明涉及硅片加工领域，具体涉及一种单驱动两侧夹紧装置及整片机构。

背景技术

硅片是太阳能电池片的载体，硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低，太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换，而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成。扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。把P型硅片放在管式扩散炉的石英容器内，在850---900摄氏度高温下使用氮气将三氯氧磷带入石英容器，通过三氯氧磷和硅片进行反应，得到磷原子。经过一定时间，磷原子从四周进入硅片的表面层，并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散，形成了N型半导体和P型半导体的交界面，也就是PN结。

在现有技术中，硅片在前后或左右方向进行整片时，通常是通过两个气缸分别驱动前后或左右两个推板对硅片进行整片，使用的气缸的数量多，且同步控制两个气缸误差大，直接用气缸进行驱动，推板与硅片之间容易产生碰撞，会造成硅片的损坏。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种单驱动两侧夹紧装置及整片机构。

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种单驱动两侧夹紧装置，所述的单驱动两侧夹紧装置包括升降板、安装在所述的升降板上的第二气缸、安装在所述的第二气缸上的能够在第二气缸的驱动下沿Y向移动的驱动板，所述的驱动板为楔形结构，驱动板的前后两侧具有一斜边，所述的驱动板的小头位于驱动板的伸出方向，所述的驱动板的大头位于驱动板缩回方向，所述的升降板上设有一沿X向延伸的滑轨、两个分别位于驱动板前后两侧的夹紧组件，所述的驱动板的前后两侧还分别设置有弹簧拉力机构，所述的弹簧拉力机构的一端固定于所述的升降板上，另一端固定在所述的夹紧组件上。

优选地，所述的夹紧组件包括设于能够沿滑轨滑动的滑块、设于滑块上的滑轮、设于滑块上的沿Y向设置的挡臂，所述的挡臂上设置有第一推板，两个夹紧组件的第一推板相对设置。

优选地，所述的单驱动两侧夹紧装置具有夹紧位置和张开位置，当所述的单驱动两侧夹紧装置处于夹紧位置时，两个滑轮分别位于驱动块的小头两侧，两个夹紧组件相对靠近，两个所述的弹簧拉力机构分别对两个夹紧组件施加一拉力，使夹紧组件从前后两侧夹紧硅片装载装置，对硅片装载装置上的硅片进行整片，当所述的单驱动两侧夹紧装置处于张开位置时，所述的驱动板在第二气缸的驱动下沿Y向伸出，插入两个滑轮之间，两个滑轮分别沿驱动板的两个侧面滑动至相互分开，使两个夹紧组件处于张开位置，所述的第一推板与硅片装载装置分离，所述的弹簧拉力机构对夹紧组件施加一回复力，使夹紧组件具有一回到夹紧位置的趋势。

优选地，所述的弹簧拉力机构包括固定在所述的升降板上的第一固定杆、固定在所述的滑块上的第二固定杆及连接在第一固定杆和第二固定杆之间的弹簧。

优选地，所述的第一推板上设置有两条沿上下方向延伸的相互平行的第一挡条。

优选地，所述的第一推板还包括安装在第一挡条上的C型调节片，C型调节片包括与第一挡条平行的调节片本体、设于调节片本体上下两侧的上部板及下部板，所述的调节片的上部板和下部板上分别开设有沿Y向设置的长孔，所述的上部板位于第一挡条的顶部，所述的下部板位于第一挡条的底部，所述的上部板和下部板分别通过紧固螺钉固定在第一挡条的顶部和底部，所述的紧固螺钉穿过所述的长孔。