[发明专利]封装结构及其形成方法有效
申请号: | 202010174461.6 | 申请日: | 2020-03-13 |
公开(公告)号: | CN113394118B | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 张志伟 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/31 |
代理公司: | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人: | 孙佳胤;董琳 |
地址: | 230001 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 封装 结构 及其 形成 方法 | ||
本发明涉及一种封装结构及其形成方法,所述封装结构包括:基板,所述基板具有相对的第一表面和第二表面,所述基板的第一表面内具有至少一个长条状的凹槽,所述凹槽的两端延伸至基板边缘,为开放端口,所述凹槽的深度小于所述基板的厚度;芯片,所述芯片通过焊接凸点倒装固定于所述基板的第一表面上,通过所述焊接凸点与所述基板之间形成电连接,所述凹槽至少部分位于所述芯片在所述基板上的投影内;底部填充层,填充满所述芯片与所述基板的第一表面之间的间隙;塑封层,覆盖所述底部填充层,并包裹所述芯片。所述封装结构在注塑过程中能够有效排出内部气体,且不影响基板背面的连接面积。
技术领域
本发明涉及芯片封装领域,尤其涉及一种封装结构及其形成方法。
背景技术
芯片在封装完成后,需要通过注塑将封装完成后的芯片进行包裹,从而对芯片进行保护。
对于通过倒装工艺(Flip chip)封装的芯片,芯片与基板之间通过焊球与基板上的电路连接。塑封过程,需要将塑封料包裹整个芯片,填充满芯片与基板之间的间隙。由于芯片与基板之间直接通过焊球或其他焊接凸点连接,间隙较小,连接点之间间隔距离也较小,因此,塑封料在填充时空气不易排出,容易在芯片与基板之间的塑封料内产生气泡,影响倒装芯片的稳定性,例如因为热胀冷缩会导致气泡膨胀使倒装芯片脱离基板。
现有技术中,为了便于在注塑过程中有利于气体的排出,会在封装基板上设置多个气孔,从而在注塑过程中,随着塑封料的填充,气体自基板上的气孔排出。请参考图1,为现有技术中形成有气孔101的基板100的俯视示意图。为了具有较好的排气效果,通常会在基板上形成多个气孔,但是由于基板上大部分区域都要用于与芯片连接,因此,能够形成气孔的面积较小,形成较多数量的气孔,使得每个气孔的尺寸都较小,虽然气孔数量增多,可以增加排气位置,但是由于气孔尺寸小又会很容易被塑封料堵住,对排气效果的改善有限。并且由于气孔贯穿所述基板,会占据基板内用于形成线路的面积,导致基板内的电路设计受限,特别是在基板背面形成焊球的数量及位置分布会受到较大的影响,导致基板背面的连接区域面积减小。
因此,如何在注塑过程中,避免封装结构内气体残留的同时,不影响在封装芯片的基板背面的连接区域是亟需解决的问题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是,提供一种封装结构及其形成方法,提高封装结构的可靠性,且不影响基板背面的连接区域。
为了解决上述问题,本发明提供了一种封装结构,包括:基板,所述基板具有相对的第一表面和第二表面,所述基板的第一表面内具有至少一个长条状的凹槽,所述凹槽的两端延伸至基板边缘,为开放端口,所述凹槽的深度小于所述基板的厚度;芯片,所述芯片通过焊接凸点倒装固定于所述基板的第一表面上,通过所述焊接凸点与所述基板之间形成电连接,所述凹槽至少部分位于所述芯片在所述基板上的投影内;底部填充层,填充满所述芯片与所述基板的第一表面之间的间隙;塑封层,覆盖所述底部填充层,并包裹所述芯片。
可选的,所述基板的第一表面内具有两个以上的所述凹槽,不同凹槽之间平行排列或相互交叉连通。
可选的,所述凹槽的宽度小于底部填充层的材料在液态状态下的可填充宽度。
可选的,所述凹槽的宽度小于4μm。
可选的,所述凹槽的深度为基板厚度的1%-70%。
可选的,所述凹槽的深度为80μm~0.5mm。
可选的,所述凹槽为直线形或曲线形。
可选的,至少一个凹槽位于所述基板的对称轴位置处。
可选的,所述基板为矩形时,至少一个所述凹槽沿所述基板的长度方向延伸。
可选的,所述凹槽顶部被所述底部填充层封闭,内部形成一连续气体通路。
可选的,还包括:焊球,形成于所述基板的第二表面。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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