[发明专利]一种显示面板及其制备方法在审
申请号: | 202010142851.5 | 申请日: | 2020-03-04 |
公开(公告)号: | CN111192913A | 公开(公告)日: | 2020-05-22 |
发明(设计)人: | 王俊媛 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/00;H01L51/56 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 吕姝娟 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显示 面板 及其 制备 方法 | ||
本申请公开了一种显示面板及其制备方法,显示面板包括阵列基板;间隙子层,间隔地设于所述阵列基板上;OLED器件层,设于所述阵列基板未设置所述间隙子层的部分上;阴极层,设于所述间隙子层和所述OLED器件层上;薄膜封装层,设于所述阴极层上,所述间隙子层包括若干间隙子,所述间隙子一个方向上的纵向截面为倒梯形。制备呈倒梯形的间隙子,倒梯形可增大蒸镀过程中与精密金属掩膜版的接触面积,有效支撑精密金属掩膜版,降低混色与错位的风险;另一方面,采用无机材料制备间隙子,使得间隙子具有较大的杨氏模量,能够避免蒸镀过程中精密金属掩膜版刮伤间隙子,增大显示面板的良率。
技术领域
本申请涉及显示面板技术领域,尤其涉及一种显示面板及其制备方法。
背景技术
有机发光二极管(OLED)具有自发光性、响应速度快、广视角等特点,应用前景广阔。目前OLED器件均使用精密金属掩膜版(Fine Metal Mask,FMM),通过蒸镀小分子有机发光材料,实现RGB发光材料的蒸镀。由于FMM制作难度较大,且非常容易出现下垂,导致蒸镀混色、错位等异常,所以在基板上会设置间隙子层(photo spacer,PS),起到支撑FMM的作用,从而避免蒸镀混色和错位。PS通常是在array制程段进行的,主要是涂布一层有机材料,通过光刻形成。然而有机材料较软,在蒸镀过程中很容易被FMM刮伤,在进行可靠性实验时导致面板失效。
因此,确有必要来开发一种新型的显示面板,以克服现有技术的缺陷。
发明内容
本发明的一个目的是提供一种显示面板,其能够解决现有技术中OLED器件蒸镀过程中精密金属掩模版易刮伤间隙子层进而导致封装失效的问题。
为实现上述目的,本发明提供一种显示面板,包括阵列基板;间隙子层,间隔地设于所述阵列基板上;OLED器件层,设于所述阵列基板未设置所述间隙子层的部分上;阴极层,设于所述间隙子层和所述OLED器件层上;薄膜封装层,设于所述阴极层上。
进一步的,在其他实施方式中,其中所述间隙子层包括若干间隙子,所述间隙子一个方向上的纵向截面为倒梯形。
进一步的,在其他实施方式中,其中所述间隙子层采用的材料为无机材料,选用氧化硅、氮化硅或氮氧化硅中的至少一种,不限于此。采用无机材料制备间隙子,使得间隙子具有较大的杨氏模量,能够避免蒸镀过程中精密金属掩膜版刮伤间隙子,增大显示面板的良率。
进一步的,在其他实施方式中,其中所述阵列基板包括薄膜晶体管结构层;层间介质层,设于所述薄膜晶体管结构层上;平坦层,设于所述层间介质层上;像素定义层,设于所述平坦层上并具有开口;阳极层,设于所述像素定义层的开口中;其中所述间隙子层设于所述像素定义层上,所述OLED器件层设于所述阳极层上。
进一步的,在其他实施方式中,其中所述薄膜封装层包括第一无机层,设于所述阴极层上;第一有机层,设于所述第一无机层上。所述薄膜封装层能够阻挡水氧的入侵。
进一步的,在其他实施方式中,其中所述薄膜晶体管结构层包括衬底基板层;有源层,设于所述衬底基板上;栅极绝缘层,设于所述有源层上;栅极层,设于所述栅极绝缘层上;源漏极层,设于所述栅极层上。
为实现上述目的,本发明还提供一种制备方法,用以制备本发明涉及的所述显示面板,所述制备方法包括以下步骤:提供一阵列基板;制备间隙子层于所述阵列基板上,所述间隙子层间隔设置于所述阵列基板上;制备OLED器件层于阵列基板的未设置所述间隙子层的部分上;制备阴极层于所述OLED器件层和所述间隙子上;制备薄膜封装层于所述阴极层上。
进一步的,在其他实施方式中,其中制备所述OLED器件层的步骤包括:使用精密金属掩膜版蒸镀有机发光材料形成所述OLED器件层。倒梯形的间隙子可增大蒸镀过程中与精密金属掩膜版的接触面积,有效支撑精密金属掩膜版,降低混色与错位的风险。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
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