[发明专利]一种利用单质硅制备球形纳米硅微粉的方法在审

专利信息
申请号: 202010099268.0 申请日: 2020-02-18
公开(公告)号: CN113336232A 公开(公告)日: 2021-09-03
发明(设计)人: 杨立梅;潘革波;李丰 申请(专利权)人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
主分类号: C01B33/18 分类号: C01B33/18;B82Y40/00
代理公司: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 代理人: 孙伟峰
地址: 215123 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 利用 单质 制备 球形 纳米 硅微粉 方法
【权利要求书】:

1.一种利用单质硅制备球形纳米硅微粉的方法,其特征在于,包括步骤:

S1、预处理单质硅原料,得到单质硅粉体;

S2、在熔融装置中,将单质硅粉体熔融为单质硅液体;

S3、雾化系统将单质硅液体喷入氧化系统中进行氧化,获得球形二氧化硅液滴;

S4、球形二氧化硅液滴冷却后形成球形纳米硅微粉。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在步骤S4中还包括:所述球形二氧化硅液滴冷却后经由收集系统收集或边冷却边经由收集系统收集,形成所述球形纳米硅微粉。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述单质硅为单晶硅、多晶硅或无定型硅。

4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,在步骤S2中,所述熔融装置内的温度在1400~2000℃。

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤S3具体包括:所述雾化系统是利用一定压力的惰性气体使所述单质硅液体在雾化的同时进入所述氧化系统中。

6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述惰性气体的压力为0.5~5MPa。

7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤S1中的所述预处理还包括:将单质硅原料进行粉碎、球磨。

8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,步骤S1中的所述预处理还包括:采用至少包含氢氟酸的无机酸对将球磨后的单质硅原料进行酸洗,然后清洗、烘干。

9.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述收集系统利用引风装置进行所述球形二氧化硅的远端收集。

10.根据权利要求1~9任一所述的方法,其特征在于,所述球形纳米硅微粉的粒径小于1μm。

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