[发明专利]卡盘工作台和检查装置

说明书

提供卡盘工作台和检查装置，即使由透明体构成保持部，也能够容易观察被加工物。卡盘工作台(1)对借助带而在环状框架的开口固定有被加工物的框架单元进行保持。卡盘工作台(1)包含：由透明体构成的保持部(3)，其具有隔着带而对被加工物进行保持的保持面(2)；框体(4)，其竖立设置于保持部(3)的周围而围绕保持部；以及多个吸引孔(5)，它们设置于框体(4)的内周面(7)。框体(4)的内径为环状框架的内径以下，在利用框架单元的带覆盖框体(4)的开口(4‑1)的状态下从吸引孔(5)传递吸引力，将带与保持面(2)之间的大气排出而使带与该保持面(2)紧贴，将框架单元的被加工物固定于保持面(2)上。

技术领域

本发明涉及用于隔着带而观察框架单元的被加工物的卡盘工作台和检查装置。

背景技术

在对半导体器件晶片或SiC(碳化硅)、LT(钽酸锂)、LN(铌酸锂)等器件晶片进行加工时，使用切削刀具或激光光线。晶片等被加工物为了在分割后不变得散乱而构成利用带固定于环状框架的开口而得的框架单元。被加工物隔着带而固定于多孔卡盘工作台等上进行加工(例如参照专利文献1)。

但是，有时希望观察加工前后的被加工物的背面侧。例如在希望将形成有器件的正面侧固定于带并从背面侧进行切削的情况下，在形成有器件的正面上存在间隔道(分割预定线)，也考虑了利用红外线相机从露出的背面侧进行观察，但在露出的背面侧包覆有金属膜的情况下，即使利用红外线相机从背面侧进行观察，也无法检测到正面侧的间隔道。因此，为了隔着卡盘工作台而对被加工物的正面进行观察，考虑了由玻璃等透明体构成的卡盘工作台(例如参照专利文献2和专利文献3)。

专利文献1：日本特开2014-013812号公报

专利文献2：日本特开2006-281434号公报

专利文献3：日本特开2010-087141号公报

但是，在使用具有由玻璃等透明体构成的保持部的卡盘工作台的情况下，存在如下的课题：通常由于玻璃不具有通气性而需要在保持面上形成真空用的槽，槽的部分不容易对焦，从而不容易观察。另外，若利用带覆盖由透明体构成的保持部整体并从保持部的外周的吸引孔对带进行抽真空，则在保持面上不需要槽，但有时在保持面与带之间残留空气，同样难以进行观察。

发明内容

由此，本发明的目的在于提供卡盘工作台和检查装置，即使由透明体构成保持部，也能够容易观察被加工物。

根据本发明的一个方式，提供卡盘工作台，其对借助带而在环状框架的开口固定有被加工物的框架单元进行保持，其中，该卡盘工作台具有：由透明体构成的保持部，其具有隔着带而对被加工物进行保持的保持面；以及框体，其竖立设置于该保持部的周围而围绕该保持部，并且在内周面具有多个吸引孔，该框体的内径为该环状框架的内径以下，在利用该框架单元的带覆盖该框体的开口的状态下从该多个吸引孔传递吸引力，将带与该保持面之间的大气排出而使带与该保持面紧贴，将该框架单元的被加工物固定于该保持面上。

优选卡盘工作台的保持部的保持面的整个面平坦且未形成吸引用的槽。

根据本发明的另一方式，提供检查装置，其对被加工物进行检查，其中，该检查装置具有：卡盘工作台，其利用保持面对借助带而在环状框架的开口固定有被加工物的框架单元进行保持；相机单元，其从该保持面侧隔着该保持面而对该卡盘工作台所保持的被加工物进行拍摄；以及移动单元，其使该卡盘工作台和该相机单元在与该保持面平行的X轴方向或与该X轴方向垂直的Y轴方向上相对地移动，该卡盘工作台包含：由透明体构成的保持部，其具有隔着带而对被加工物进行保持的保持面；以及框体，其竖立设置于该保持部的周围而围绕该保持部，并且在内周面具有多个吸引孔，该框体的内径为该环状框架的内径以下，在利用该框架单元的该带覆盖该框体的开口的状态下从该多个吸引孔传递吸引力，将该带与该保持面之间的大气排出而使该带与该保持面紧贴，将该框架单元的被加工物固定于该保持面上。