[发明专利]卡盘工作台和检查装置

权利要求书

1.一种卡盘工作台，其对借助带而在环状框架的开口固定有被加工物的框架单元进行保持，其中，

该卡盘工作台具有：

由透明体构成的保持部，其具有隔着带而对被加工物进行保持的保持面；以及

框体，其竖立设置于该保持部的周围而围绕该保持部，并且在内周面具有多个吸引孔，

该框体的内径为该环状框架的内径以下，

在利用该框架单元的带覆盖该框体的开口的状态下从该多个吸引孔传递吸引力，将带与该保持面之间的大气排出而使带与该保持面紧贴，将该框架单元的被加工物固定于该保持面上。

2.根据权利要求1所述的卡盘工作台，其中，

该保持部的该保持面的整个面平坦且未形成吸引用的槽。

3.一种检查装置，其对被加工物进行检查，其中，

该检查装置具有：

卡盘工作台，其利用保持面对借助带而在环状框架的开口固定有被加工物的框架单元进行保持；

相机单元，其从该保持面侧隔着该保持面而对该卡盘工作台所保持的被加工物进行拍摄；以及

移动单元，其使该卡盘工作台和该相机单元在与该保持面平行的X轴方向或与该X轴方向垂直的Y轴方向上相对地移动，

该卡盘工作台包含：

由透明体构成的保持部，其具有隔着带而对被加工物进行保持的保持面；以及

框体，其竖立设置于该保持部的周围而围绕该保持部，并且在内周面具有多个吸引孔，

该框体的内径为该环状框架的内径以下，

在利用该框架单元的该带覆盖该框体的开口的状态下从该多个吸引孔传递吸引力，将该带与该保持面之间的大气排出而使该带与该保持面紧贴，将该框架单元的被加工物固定于该保持面上。

4.根据权利要求3所述的检查装置，其中，

该检查装置搭载于具有利用切削刀具或激光光线对被加工物进行加工的加工单元的加工装置中，该加工单元对该卡盘工作台所保持的被加工物进行加工，该检查装置隔着该卡盘工作台而拍摄并检查利用该加工单元进行加工的被加工物。