[发明专利]一种微纳复合结构光提取膜的制备方法有效
申请号: | 202010062209.6 | 申请日: | 2020-01-20 |
公开(公告)号: | CN111146367B | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 周雄图;赖晓聪;郭太良;张永爱;吴朝兴;林志贤;严群 | 申请(专利权)人: | 福州大学 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/52 |
代理公司: | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人: | 钱莉;蔡学俊 |
地址: | 350108 福建省福州市*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 复合 结构 提取 制备 方法 | ||
本发明涉及一种微纳复合结构光提取膜的制备方法,包括步骤:步骤S1:采用软印刷方法制备具有有序微米结构的PDMS模板;步骤S2:将有序微米结构的PDMS模板进行拉伸,并进行等离子处理,在微米结构的PDMS模板上获得不同形状和尺寸的纳米图案,形成具有与所需微纳米复合结构相反的PDMS微纳米复合图案;步骤S3:将PDMS微纳米复合图案转移到所需聚合物上,得到光提取膜。本发明制作效率高,成本低,同时制备的光提取膜在有序微米结构图案嵌套无序纳米结构,可以避免器件衬底与空气界面的光损失,在不改变OLED器件的视角特性的同时,具有较强的光提取效果。
技术领域
本发明涉及光电显示技术领域,特别是一种微纳复合结构光提取膜的制备方法。
背景技术
有机发光二极管(OLED)被广泛地应用于移动电话和电视机的显示器中,然而,由于金属有机界面处的表面等离子激元共振模式、铟锡氧化物(ITO)/有机层中的波导模式,玻璃基板中的基板模式等产生的损失,OLED的外部量子效率为约20%。
由于ITO/玻璃界面和玻璃/空气界面之间的折射率小,所以基板模式中的光损耗大于波导模式中的光损耗,因此,在玻璃/空气界面处添加一层光提取层,可以极大的增加OLED的发光效率。
传统的单一周期性微米结构光提取膜往往会改变器件的光谱特性和角度分布。
发明内容
有鉴于此,本发明的目的是提出一种微纳复合结构光提取膜的制备方法,该光提取膜可以避免器件衬底与空气界面的光损失,在不改变OLED器件的视角特性的同时,具有较强的光提取效果,该制备方法采用复制的方法,制作效率高,成本低。
本发明采用以下方案实现:一种微纳复合结构光提取膜的制备方法,该光提取膜包括基底、施加在所述基底上周期性微米结构、以及施加在所述微米结构上的纳米结构;所述光提取膜的制备包括以下步骤:
步骤S1:采用软印刷方法制备具有有序微米结构的PDMS模板;
步骤S2:将有序微米结构的PDMS模板在单一方向或多方方向同时进行拉伸,并进行等离子处理,在微米结构的PDMS模板上获得不同形状和尺寸的纳米图案,形成PDMS微纳米复合图案;通过调控拉伸方向控制纳米结构图案,从而控制不同方向光的提取效率;
步骤S3:将PDMS微纳米复合图案转移到所需聚合物上,形成具有与所需微纳米复合结构相反的微纳米复合图案;
步骤S4:以步骤S3得到的与所需微纳米复合结构相反的微纳米复合图案为模板,用以一次或多次复制所需微纳复合结构光提取膜,以提高制备效率。
进一步地,步骤S1具体包括以下步骤:
步骤S11:在洁净衬底上制备微米图案,并对微米图案进行退火,提高图案与衬底的结合力,形成微米图案母版;
步骤S12:采用三甲基氯硅烷对微米图案母版进行表面修饰;
步骤S13:采用软印刷方法,将聚二甲基硅氧烷单体和交联剂按预设比例均匀混合,抽真空除泡后,均匀旋涂于微米图案母版上,静置后加热固化,剥离后得到与微米图案母版相反的聚二甲基硅氧烷微米结构,即具有有序微米结构的PDMS模板。
进一步地,步骤S3具体包括以下步骤:
步骤S31:将步骤S3得到的具有PDMS微纳米复合图案的PDMS模板放置在真空中排除聚二甲基硅氧烷内的气体,并形成负压;
步骤S32:在基板上均匀涂覆紫外固化胶,将步骤S31处理后的具有负压的PDMS模板有图案一面放置于紫外固化胶上,在负压和重力作用下静置一段时间,紫外曝光后剥离PDMS模板,得到具有与所需微纳米复合结构相反的UV胶微纳米复合图案。
进一步地,步骤S4中,所述复制所需微纳复合结构光提取膜具体包括以下步骤:
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