[发明专利]一种在有机材料表面制备金属膜层的方法

权利要求书

1.一种在有机材料表面制备金属膜层的方法，其特征在于，预处理后的有机材料进行原子层沉积，制得所述有机材料表面的第一金属膜层。

2.根据权利要求1所述的在有机材料表面制备金属膜层的方法，其特征在于，所述预处理包括对有机材料修剪，然后进行清洗和干燥。

3.根据权利要求2所述的在有机材料表面制备金属膜层的方法，其特征在于，所述清洗采用去离子水将有机材料表面清洗至表面无异物。

4.根据权利要求2所述的在有机材料表面制备金属膜层的方法，其特征在于，所述干燥采用烘箱干燥至恒重。

5.根据权利要求1所述的在有机材料表面制备金属膜层的方法，其特征在于，所述原子层沉积的步骤如下:

(a)惰性气体清洗，然后通入第一气相前驱体，等待1-5秒；

(b)惰性气体清洗，然后通入第二气相前驱体，等待1-5秒；

(c)惰性气体清洗；

原子层沉积过程中的温度为60-300℃。

6.根据权利要求5所述的在有机材料表面制备金属膜层的方法，其特征在于，步骤(a)中，惰性气体清洗0.1-5.0秒；

和/或

步骤(b)中，惰性气体清洗0.1-5.0秒；

和/或

步骤(c)中，惰性气体清洗0.1-5.0秒。

7.根据权利要求5所述的在有机材料表面制备金属膜层的方法，其特征在于，步骤(a)中，通入第一气相前驱体0.01-5.0秒；

和/或

步骤(b)中，通入第二气相前驱体0.01-5.0秒。

8.根据权利要求5所述的在有机材料表面制备金属膜层的方法，其特征在于，所述惰性气体包括氮气、氦气、氩气中的任一种。

9.根据权利要求1-8任一项所述的在有机材料表面制备金属膜层的方法，其特征在于，所述有机材料包括植物样本、动物样本。

10.根据权利要求1-8任一项所述的在有机材料表面制备金属膜层的方法，其特征在于，所述第一金属膜层包括铜层、镍层、金层、锌层、铝层中的任一种或其氧化物膜层。