[发明专利]半导体装置和半导体装置制造方法

权利要求书

1.一种半导体装置，由电源供电，所述半导体装置包括：

基板；

电路区块，设置于所述基板上，所述电路区块用来执行特定功能；

多个金属层，设置于所述基板上方，所述多个金属层包括：

第一电源网，包括多条金属线沿第一方向由所述电路区块的第一侧延伸至第二侧，所述第一电源网耦接至所述电路区块；以及

多个第一电源开关电路，设置于所述基板上，所述多个第一电源开关电路均包括：

控制信号输入端，用来接收控制信号；

控制信号输出端，用来输出所述控制信号；

电源输入端，耦接至所述电源；以及

电源输出端，耦接至所述第一电源网；

其中所述多个第一电源开关电路分别依据所述控制信号选择性地将所述电源耦接至所述第一电源网，且所述多个第一电源开关电路依序排列，其中每一第一电源开关电路的所述控制信号输出端耦接至下一第一电源开关电路的所述控制信号输入端，使所述控制信号依序经过所述多个第一电源开关电路。

2.根据权利要求1所述的半导体装置，其中所述多个第一电源开关电路中，每一第一电源开关电路的所述控制信号输出端和下一第一电源开关电路的所述控制信号输入端之间另具有延迟单元用来延迟所述控制信号。

3.根据权利要求1所述的半导体装置，其中所述多个金属层还包括：

第二电源网，包括多条金属线沿第二方向由所述电路区块的第三侧延伸至第四侧，所述第二电源网耦接至所述电路区块，其中所述第二方向不同于所述第一方向。

4.根据权利要求3所述的半导体装置，另包括多个第二电源开关电路设置于所述基板上，所述多个第二电源开关电路均包括：

控制信号输入端，用来接收所述控制信号；

控制信号输出端，用来输出所述控制信号；

电源输入端，耦接至所述电源；以及

电源输出端，耦接至所述第二电源网；

其中所述多个第二电源开关电路分别依据所述控制信号选择性地将所述电源耦接至所述第二电源网，且所述多个第二电源开关电路依序排列，其中每一第二电源开关电路的所述控制信号输出端耦接至下一第二电源开关电路的所述控制信号输入端，使所述控制信号依序经过所述多个第二电源开关电路。

5.根据权利要求4所述的半导体装置，另包括多个第三电源开关电路设置于所述基板上及所述电路区块的所述第二侧，所述多个第三电源开关电路均包括：

控制信号输入端，用来接收所述控制信号；

控制信号输出端，用来输出所述控制信号；

电源输入端，耦接至所述电源；以及

电源输出端，耦接至所述第一电源网；

其中所述多个第三电源开关电路分别依据所述控制信号选择性地将所述电源耦接至所述第一电源网，且所述多个第三电源开关电路依序排列，其中每一第三电源开关电路的所述控制信号输出端耦接至下一第三电源开关电路的所述控制信号输入端，使所述控制信号依序经过所述多个第三电源开关电路。

6.根据权利要求5所述的半导体装置，另包括多个第四电源开关电路设置于所述基板上及所述电路区块的所述第四侧，所述多个第四电源开关电路均包括：

控制信号输入端，用来接收所述控制信号；

控制信号输出端，用来输出所述控制信号；

电源输入端，耦接至所述电源；以及

电源输出端，耦接至所述第二电源网；

其中所述多个第四电源开关电路分别依据所述控制信号选择性地将所述电源耦接至所述第二电源网，且所述多个第四电源开关电路依序排列，其中每一第四电源开关电路的所述控制信号输出端耦接至下一第四电源开关电路的所述控制信号输入端，使所述控制信号依序经过所述多个第四电源开关电路。

7.根据权利要求6所述的半导体装置，其中所述控制信号依序经过所述多个第一电源开关电路、所述多个第二电源开关电路、所述多个第三电源开关电路以及所述多个第四电源开关电路。