[发明专利]固体摄像元件和电子设备在审
申请号: | 201980059756.4 | 申请日: | 2019-09-05 |
公开(公告)号: | CN112703599A | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
发明(设计)人: | 大竹悠介;若野寿史;村瀬拓郎 | 申请(专利权)人: | 索尼半导体解决方案公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;H01L31/10;H04N5/3745 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 瓮芳;陈桂香 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固体 摄像 元件 电子设备 | ||
本发明涉及能够增大电荷保持单元的电容的固体摄像元件和电子设备。固体摄像元件包括像素,像素包括:光电二极管;FD,其累积在光电二极管中产生的电荷;以及电荷保持单元,其与FD并联连接。电荷保持单元包括配线电容,该配线电容是通过连接至第一电位的第一配线和连接至与第一电位不同的第二电位的第二配线的平行伸展而形成的。本发明可以应用于执行全局快门型摄像的固体摄像元件。
技术领域
本发明涉及固体摄像元件和电子设备,更特别地,涉及能够增大电荷保持单元的电容的固体摄像元件和电子设备。
背景技术
传统上,存在着执行全局快门型摄像的图像传感器,在全局快门型摄像中,所有像素将电荷同时从光电二极管(PD)传输至浮动扩散部(FD)。
通常,众所周知,在驱动图像传感器时,会在复位时产生kTC噪声。
另一方面,例如,专利文献1公开了一种执行全局快门型摄像的图像传感器,该图像传感器包括不同于FD的电荷保持单元并且将包含kTC噪声的信号电位反馈回FD以降低kTC噪声。
引用列表
专利文献
专利文献1:日本专利申请特开第2018-64199号
发明内容
本发明要解决的技术问题
在专利文献1的构造中,由于通过电荷保持单元与FD之间的耦合电容的电容分配来降低kTC噪声,因此有必要增大电荷保持单元的电容,但是专利文献1没有公开用于增大电荷保持单元的电容的任何具体构造。
本发明是鉴于这种情况而被做出的,并且本发明旨在增大电荷保持单元的电容。
解决问题的技术方案
本发明的固体摄像元件是包括像素的固体摄像元件,所述像素包括:光电二极管;FD,其累积在所述光电二极管中产生的电荷;以及电荷保持单元,其与所述FD并联连接,其中,所述电荷保持单元包括配线电容,所述配线电容是通过连接至第一电位的第一配线和连接至与所述第一电位不同的第二电位的第二配线的平行伸展而形成的。
本发明的电子设备是包括固体摄像元件的电子设备,所述固体摄像元件包括像素,所述像素包括:光电二极管;FD,其累积在所述光电二极管中产生的电荷;以及电荷保持单元,其与所述FD并联连接,其中,所述电荷保持单元包括配线电容,所述配线电容是通过连接至第一电位的第一配线和连接至与所述第一电位不同的第二电位的第二配线的平行伸展而形成的。
根据本发明,像素包括:光电二极管;FD,其累积在所述光电二极管中产生的电荷;以及电荷保持单元,其与所述FD并联连接,其中,所述电荷保持单元包括配线电容,所述配线电容是通过连接至第一电位的第一配线和连接至与所述第一电位不同的第二电位的第二配线的平行伸展而形成的。
附图说明
图1是示出了应用根据本发明的技术的固体摄像元件的构造示例的图。
图2是示出了应用根据本发明的技术的像素的构造示例的图。
图3是示出了用于形成电荷保持单元的配线布局的示例的平面图。
图4是示出了根据本发明的第一实施例的像素的构造示例的图。
图5是示出了第一层配线层的配线布局的示例的平面图。
图6是示出了第二层配线层的配线布局的示例的平面图。
图7是示出了第三层配线层的配线布局的示例的平面图。
图8是示出了第四层配线层的配线布局的示例的平面图。
图9是示出了配线层的截面的示例的图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的