[发明专利]用于干燥图案化的OLED制剂的系统和方法

说明书

一种干燥室，其用于干燥具有显示区的图案的基底，所述显示区被溶解或悬浮在挥发性载液中的OLED材料润湿，且由干燥边界域彼此隔开。掩模使用与湿润区域相对的蒸汽透过区域和与干燥边界区域相对的蒸汽阻隔区域，来调节真空萃取过程中载液的干燥速率，或在真空萃取之前，通过将湿润区集中限制在足够小以便迅速被载液饱和的腔室内，来调节载液的干燥速率。

相关申请的交叉引用

本申请要求在2018年7月23日提交的美国临时专利申请第62/702,270号以及在2019年2月28日提交的美国临时专利申请第62/812,143号的优先权，其全部内容以引用的方式并入于此。

背景技术

有机发光二极管(OLED)是一种发光二极管(LED)，其中发光组件包括有机材料层或有机材料薄膜。显示设备例如电视、计算机和移动电话，越来越多地包含单独控制的小型OLED阵列作为像素。

采用喷墨技术可将溶解于或悬浮于载液中的OLED材料沉积在基底上。在类似于将文字打印到纸上的过程中，通过将OLED制剂的液滴精确地滴入所需的图案中，可以将OLED像素“打印”在合适的基底上。然后，经干燥步骤去除沉积液中的载液从而留下OLED材料。

在干燥过程中，要精确控制温度、流量和压力，以去除载液而不对像素造成物理扭曲，以免对显示质量产生不利影响。然而，很难在像素级别上精确地控制压力和温度。因而，像素和显示质量可以随显示区变化。由此，需要能精确且均匀地控制如何去除OLED沉积材料上的载液的工具和方法。

附图说明

通过示例的方式而非限制的方式结合附图进行详细描述。附图中相同的附图标记表示相似的元件，其中：

图1示出用于干燥基底105的干燥室100，所述基底105被图案化为包括由边界域115隔开的多个显示区110。

图2详细描述了图1中介绍的基底105和掩模125的部分。

图3显示了基底105和掩模125的平面图。

图4详细描述了根据另一实施例的干燥室400。

图5是根据一个实施例的掩模的平面图。

图6是根据另一个实施例的掩模的平面图。

图7A-图7C是根据不同实施例的掩模部分的剖视图。

发明内容

本文所述的实施例提供了一种干燥室，其包括：设置于外壳内的基底支撑件，所述基底支撑件具有支撑表面；具有蒸汽透过区域和蒸汽阻挡区域的掩模，所述掩模横跨于所述外壳内的所述基底支撑件的支撑表面且设置成与所述支撑表面相距可调的距离；连接至所述外壳的气源；以及连接至所述外壳的真空源。

本文所述的其他实施例提供了一种用于干燥具有湿润区的基底的方法，所述湿润区由干燥边界域隔开且由载液润湿，所述方法包括：将掩模相对于基底进行定向，所述掩模具有蒸汽透过区域和蒸汽阻挡区域；以及通过所述掩模的蒸汽透过区域从所述基底的所述湿润区吸取载液。

本文所述的其他实施例提供了一种干燥室，其包括：基底支撑件，所述基底支撑件用于支撑具有由干燥边界域隔开的湿润区的基底，所述湿润区包括表现出载液蒸汽压的挥发性载液；配气装置，所述配气装置限定所述基底上方的处理空间体积的处理空间，其中所述处理空间体积在五分钟内几乎达到挥发性载液的蒸汽饱和度；以及真空源，所述真空源用于从处理空间中吸取挥发性载液的蒸汽。

具体实施方式