[发明专利]光接收元件和测距模块在审

专利信息
申请号: 201980045810.X 申请日: 2019-07-04
公开(公告)号: CN112385043A 公开(公告)日: 2021-02-19
发明(设计)人: 渡辺竜太 申请(专利权)人: 索尼半导体解决方案公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;G01C3/06;G01J1/02;G01J1/04;H01L27/144;H01L31/10;H04N5/369
代理公司: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人: 王新春;曹正建
地址: 日本神*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 接收 元件 测距 模块
【权利要求书】:

1.一种光接收元件,包括:

片上透镜;

布线层;和

半导体层,所述半导体层布置在所述片上透镜和所述布线层之间,其中,

所述半导体层包括:

第一电压施加部,其上施加有第一电压,

第二电压施加部,其上施加有与所述第一电压不同的第二电压,

第一电荷检测部,其布置在所述第一电压施加部附近,和

第二电荷检测部,其布置在所述第二电压施加部附近,并且

所述第一电压施加部和所述第二电压施加部中的每个均在所述半导体层中被绝缘膜覆盖。

2.根据权利要求1所述的光接收元件,其中,

所述布线层包括设置有反射构件的至少一个层,以及

所述反射构件设置成在平面图中与所述第一电荷检测部或所述第二电荷检测部重叠。

3.根据权利要求1所述的光接收元件,其中,

所述布线层包括设置有遮光构件的至少一个层,以及

所述遮光构件设置成在平面图中与所述第一电荷检测部或所述第二电荷检测部重叠。

4.根据权利要求1所述的光接收元件,其中,

所述第一电压施加部和所述第二电压施加部以及所述第一电荷检测部和所述第二电荷检测部布置在所述半导体层的同一平面侧。

5.根据权利要求1所述的光接收元件,其中,

所述第一电压施加部和所述第二电压施加部构造成贯穿所述半导体层。

6.根据权利要求1所述的光接收元件,其中,

所述第一电荷检测部布置在所述第一电压施加部周围,并且

所述第二电荷检测部布置在所述第二电压施加部的周围。

7.根据权利要求1所述的光接收元件,其中,

所述第一电压施加部和所述第二电压施加部布置在所述半导体层的与形成有所述第一电荷检测部和所述第二电荷检测部的表面相对的平面侧。

8.根据权利要求7所述的光接收元件,其中,

所述第一电压施加部布置在其中在平面图中所述第一电压施加部的中心位置与所述第一电荷检测部重叠的位置处,并且

所述第二电压施加部布置在其中在平面图中所述第二电压施加部的中心位置与所述第二电荷检测部重叠的位置处。

9.根据权利要求1所述的光接收元件,其中,

所述第一电压施加部和所述第二电压施加部的各个深度构造成比所述第一电荷检测部和所述第二电荷检测部更深。

10.根据权利要求1所述的光接收元件,其中,

所述第一电压施加部和所述第二电压施加部包括在所述半导体层的界面上方的上表面上形成的突出部。

11.根据权利要求1所述的光接收元件,还包括:

空穴浓度强化层,其位于所述第一电压施加部和所述第二电压施加部中的每个的所述绝缘膜的外周上。

12.根据权利要求1所述的光接收元件,其中,

所述第一电压施加部、所述第二电压施加部、所述第一电荷检测部和所述第二电荷检测部的平面形状是圆形、矩形和三角形中的任一种,并且相对于像素中心呈点对称地布置。

13.根据权利要求1所述的光接收元件,其中,

所述第一电压施加部、所述第二电压施加部、所述第一电荷检测部和所述第二电荷检测部的平面形状是L形或梳齿形,并且布置成彼此面对。

14.根据权利要求1所述的光接收元件,其中,

具有矩形平面形状的所述第一电压施加部和所述第一电荷检测部的组与具有矩形平面形状的所述第二电压施加部和所述第二电荷检测部的组交替地布置。

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