[发明专利]平台设备、光刻设备、控制单元和方法

权利要求书

1.一种平台设备，包括：

物体支撑件，所述物体支撑件包括用于在其上安装物体的表面，所述表面沿一平面延伸；

用于支撑所述物体的多个支撑构件，所述多个支撑构件被布置成从夹持器接收所述物体并将所述物体布置在所述表面上，和/或反之亦然，其中所述支撑构件至少在垂直于所述平面的第一方向上是能够移动的；

控制单元，所述控制单元被布置为接收与所述物体的平面外形状有关的形状信息，并且被布置为控制所述支撑构件的位置，

其中所述控制单元被布置为在所述物体由所述支撑构件支撑的同时通过基于所述形状信息控制所述位置来使所述物体倾斜，以减少所述物体在所述第一方向上的空间占用。

2.根据权利要求1所述的平台设备，其中所述控制单元被布置为在倾斜所述物体期间或之后确定所述物体的中心并将所述中心移动到期望的位置，

其中所述物体的中心在所述物体在所述第一方向上的空间占用之内。

3.根据权利要求2所述的平台设备，其中所述物体的中心在所述物体的最顶部部分和所述物体的最底部部分之间沿着所述第一方向的中间。

4.根据前述权利要求中任一项所述的平台设备，包括所述夹持器和被布置在所述物体上方的主体部，

其中，当所述物体由所述支撑构件支撑并且所述夹持器位于所述物体下方时，所述控制单元被配置成控制所述位置，使得所述物体和所述夹持器之间的下部距离与所述物体和所述主体部之间的上部距离大体彼此相等。

5.根据权利要求4所述的平台设备，其中所述主体部是编码器光栅和编码器头中的一种。

6.根据前述权利要求中任一项所述的平台设备，包括三个支撑构件。

7.根据前述权利要求中的一项或更多项权利要求所述的平台设备，其中所述控制单元被布置成通过将所述支撑构件设定成安装布置来使所述物体倾斜，以减少所述物体在所述第一方向上的空间占用，在所述安装布置中所述支撑构件具有在所述第一方向上相对于彼此的相对位置，

其中所述控制单元被配置为在将所述物体装载在所述表面上的同时保持所述安装布置。

8.根据权利要求7所述的平台设备，其中所述物体支撑件包括多个吸力区域，所述多个吸力区域被布置为提供用于将所述物体夹持到所述表面的吸力，

其中所述控制单元被配置成基于所述形状信息来确定吸力序列，以及

其中所述控制单元被配置成在将所述物体安装在所述表面上期间控制所述吸力区域根据所述吸力序列提供所述吸力。

9.根据权利要求7或8所述的平台设备，其中所述控制单元还被配置成基于所述安装布置确定所述吸力抽吸。

10.根据前述权利要求中的一项或更多项权利要求所述的平台设备，还包括定位器，所述定位器包括短行程模块和长行程模块，其中所述短行程模块包括所述物体支撑件，所述长行程模块包括所述多个支撑构件。

11.根据前述权利要求中的一项或更多项权利要求所述的平台设备，其中所述支撑构件中的至少一个支撑构件包括倾斜段，所述倾斜段被配置成围绕平行于所述平面的轴线倾斜所述至少一个支撑构件的上部部分。

12.根据前述权利要求中的一项或更多项权利要求所述的平台设备，还包括公共致动器，所述公共致动器被配置成使得所述多个支撑构件同时沿着所述第一方向移动。

13.一种光刻设备，包括：

投影系统，所述投影系统用于将所述图案投影到衬底上；

根据权利要求1-12中的一项或更多项权利要求所述的平台设备；以及

夹持器，所述夹持器被配置成将所述物体布置在所述物体支撑件上方，

其中所述多个支撑构件还被布置成从所述夹持器接收所述物体并且将所述物体布置在所述物体支撑件的所述表面上。