[发明专利]压电体膜形成用液体组合物及使用该液体组合物形成压电体膜的方法

权利要求书

1.一种压电体膜形成用液体组合物，其用于形成由至少含有Bi、Na及Ti的金属氧化物构成的压电体膜，所述液体组合物的特征在于，

所述Na的原料为Na醇盐，所述Ti的原料为Ti醇盐，且所述液体组合物含有二醇和胺系稳定剂，

所述胺系稳定剂相对于所述Ti醇盐的摩尔比即Ti醇盐:胺系稳定剂为1:0.5～1:4。

2.根据权利要求1所述的液体组合物，其还含有Ba、K、Mg、Zn、Ni中的任一种。

3.根据权利要求1或2所述的液体组合物，其还含有Sr及Zr。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的液体组合物，其中，

相对于所述液体组合物100质量％，含有4质量％～20质量％的金属氧化物。

5.一种形成压电体膜的方法，其中，通过将权利要求1至4中任一项所述的液体组合物涂布在基板上，对其进行预烧成，然后进行烧成而结晶化来形成所述压电体膜。

6.一种压电体膜，由至少含有Bi、Na及Ti的金属氧化物构成，其特征在于，

利用扫描型电子显微镜测定时的压电体膜的膜密度为84％～99％。

7.根据权利要求6所述的压电体膜，其还含有Ba、K、Mg、Zn、Ni中的任一种。

8.根据权利要求6或7所述的压电体膜，其还含有Sr及Zr。

9.根据权利要求6所述的压电体膜，其中，

所述金属氧化物为(Bi，Na)TiO₃，且具有钙钛矿型结构。

10.根据权利要求7或8所述的压电体膜，其中，

所述金属氧化物为(Bi，Na)TiO₃-BaTiO₃、(Bi，Na)TiO₃-(Bi，K)TiO₃、(Bi，Na)TiO₃-Bi(Mg，Ti)O₃、(Bi，Na)TiO₃-(Bi，K)TiO₃-Bi(Zn，Ti)O₃、(Bi，Na)TiO₃-(Bi，K)TiO₃-Bi(Ni，Ti)O₃、(Bi，Na)TiO₃-SrZrO₃、(Bi，Na)TiO₃-(Bi，K)TiO₃-SrZrO₃中的任一种，且具有钙钛矿型结构。