[发明专利]树脂组合物和电子部件有效
申请号: | 201980015060.1 | 申请日: | 2019-03-15 |
公开(公告)号: | CN111770964B | 公开(公告)日: | 2022-12-02 |
发明(设计)人: | 堤隆志 | 申请(专利权)人: | 日本瑞翁株式会社 |
主分类号: | C08L45/00 | 分类号: | C08L45/00;C08L63/00 |
代理公司: | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人: | 邵秋雨;刘继富 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 树脂 组合 电子 部件 | ||
本发明提供一种树脂组合物,其含有具有极性基团的环状烯烃聚合物(A)和环氧当量为500以上的环氧树脂(B)。
技术领域
本发明涉及树脂组合物和电子部件,特别涉及可优选地用于形成在电子部件中使用的绝缘膜等的树脂组合物、和具有由该树脂组合物形成的树脂膜的电子部件。
背景技术
在有机EL元件和液晶显示元件等各种显示元件、集成电路元件、固态成像元件、彩色滤波器以及黑色矩阵(Black Matrix)等电子部件中,设置有用于防止劣化、损伤的表面保护膜;用于将元件表面、布线平坦化的平坦化膜;用于使配置成层状的布线之间绝缘的层间绝缘膜等各种树脂膜。
近年来,为了赋予上述那样的树脂膜期望的性状,从各种观点出发尝试对用于形成树脂膜的树脂组合物进行改良。例如专利文献1提出了一种树脂组合物,其含有粘结剂树脂、放射线敏感性化合物、环氧系交联剂和芳烷基酚醛树脂,上述环氧系交联剂的环氧当量为450以下、软化点为30℃以下且为4官能度以下。根据专利文献1的树脂组合物,能够形成可得到对金属层的密合性高、显像性和低吸湿性优异的树脂膜的树脂组合物。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:国际公开第2015/141717号。
发明内容
发明要解决的问题
使用上述那样的树脂组合物得到的树脂膜有时会被用于形成对应于用途的期望的图案形状。在此,从具有树脂膜的电子部件的产率提高和高性能化等的观点出发,树脂膜需要能够形成分辨率良好的图案形状。为了使树脂膜能够形成分辨率良好的图案,在对树脂膜进行光刻等得到显像图案、使该显像图案固化得到图案时,需要能够充分抑制固化前后的图案形状变化。此外,在树脂膜的拉伸伸长率不充分的情况下,即在树脂膜缺乏伸长性的情况下,在具有电子部件的电子设备连续运行时、以及在电子部件中产生了应力时等,树脂膜会产生裂纹或树脂膜会容易从基板剥离。如果树脂膜产生了裂纹或树脂膜从基板剥离,则电子部件将难以正常发挥功能。因此,从提供可靠性高的高性能的电子部件的观点出发,树脂膜需要伸长性优异。然而,使用上述现有的树脂组合物得到的树脂膜不能够兼顾分辨率良好与保持充分的伸长性。
因此,本发明的目的在于提供一种能够形成分辨率和伸长性优异的树脂膜的树脂组合物和具有使用该树脂组合物形成的树脂膜的高性能的电子部件。
用于解决问题的方案
本发明人为了解决上述问题,进行了深入研究。然后,本发明人新发现,通过含有具有极性基团的环状烯烃聚合物、和环氧当量在规定值以上的环氧树脂的树脂组合物,能够形成分辨率和伸长性优异的树脂膜,从而完成了本发明。
即,本发明以有利地解决上述问题为目的,本发明的树脂组合物的特征在于含有具有极性基团的环状烯烃聚合物(A)和环氧当量为500以上的环氧树脂(B)。像这样,如果使树脂组合物含有具有极性基团的环状烯烃聚合物(A)和环氧当量为500以上的环氧树脂(B),则能够形成分辨率和伸长性优异的树脂膜。
另外,环氧当量表示包含1g当量的环氧基的树脂的克数(g/eq.),能够按照JIS K7236:2009求出。
此外,本发明的树脂组合物优选上述环氧树脂(B)在分子内包含柔性骨架和芳香族基团。如果树脂组合物含有的环氧树脂(B)在分子内包含柔性骨架和芳香族基团,则能够进一步提高得到的树脂膜的分辨率和伸长性。
此外,在本发明的树脂组合物中,优选上述环氧树脂(B)的含量相对于100质量份的环状烯烃聚合物(A)为40质量份以上且100质量份以下。如果环氧树脂(B)的含量为上述下限值以上,则能够进一步提高树脂膜的伸长性。此外,如果环氧树脂(B)的含量为上述上限值以下,则能够进一步提高树脂膜的分辨率。
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