[发明专利]使用具有通风测量体积的薄膜腔进行泄漏测试的方法

说明书

本发明涉及一种使用用于盛测试对象(22)的薄膜腔(10)测试测试对象是否存在泄漏的方法，薄膜腔(10)具有围绕薄膜腔体积(20)的壁，壁具有至少一个柔性壁区域，包括步骤将测试对象(22)插入薄膜腔(10)中以及关闭薄膜腔(10)，根据位置测量装置(61)的信号确定薄膜腔的完全关闭，位置测量装置(61)检测薄膜腔的壁相对于彼此的相对位置。

本发明涉及一种使用薄膜腔测试试样是否存在泄漏的方法。

薄膜腔是具有至少一个例如由薄膜制成的柔性壁区域的测试腔室。典型的薄膜腔包括两个薄膜层，两个薄膜层围绕试样彼此相对放置，以完全封闭试样。当试样已经被容纳在其中时，薄膜腔被气密地关闭和抽空。随后，监测试样外部的薄膜腔体积区域中的压力变化，其中，压力升高被认为是试样中存在泄漏的指示。替代于监测薄膜腔体积中的压力，也可以监测柔性壁区域，其中，柔性壁区域或薄膜的变化可以指示泄漏。这种方法可以从DE102012200063 A1得知。

在DE 102014218399 A1中描述了一种用于对试样进行粗泄漏测试的薄膜腔，该薄膜腔在与薄膜腔体积中的柔性壁区域相对的一侧上具有与柔性壁区域相邻的测量体积。测量体积朝向薄膜腔体积密封。在一示例性实施例中，其中薄膜腔包括两个均以薄膜形式存在的柔性壁区域，邻近两个薄膜中的每一个设置测量体积。在所描述的方法中，容纳有试样的封闭薄膜腔被抽空，其中，已经在抽空薄膜腔的过程中监测测量体积，以在监测结果的基础上获得试样中可能的泄漏的大小。测量体积的监测可以通过测量测量体积中的压力或者通过测量在薄膜腔中或从薄膜腔中排出的气体流量来进行。

当以这种方式测试具有粗泄漏的试样时，在抽空薄膜腔期间，至少一部分试样被抽空。薄膜腔体积和测量体积之间的柔性壁区域导致测量体积增加。同气密的试样或泄漏较小的试样相比，其测量体积的增加更大。在气密试样的情况下，仅抽空试样外部区域中的薄膜腔体积。在试样具有粗泄漏的情况下，试样或至少一部分试样体积也将被抽空，从而与气密试样相比抽空更大的体积。因此，试样中的泄漏越大，测量体积的体积膨胀越大。基于测量体积和/或柔性壁区域的扩张，可以得到试样中可能的泄漏的大小。

本发明的一个目的是检测测试腔的完全关闭。

根据本发明的方法由权利要求1的特征限定。

薄膜腔的完全关闭是根据位置测量装置的信号确定的，该位置测量装置检测薄膜腔的壁相对于彼此的相对位置。因此，可以确定完全关闭，并且可以设置开始抽空的起点。此外，可以发现指示泄漏的测量信号实际上是由试样中的泄漏引起的，还是由未关闭的薄膜腔引起的。在薄膜腔仍打开的情况下，在抽空期间，来自薄膜腔的气流从薄膜腔周围的大气中被吸入。为了防止薄膜腔的从环境中吸入的气体被误认为是试样中的泄漏，使用了位置测量装置的信号。只有当位置测量装置的信号指示薄膜腔完全关闭时，才将指示试样泄漏的测量信号视为试样泄漏。

根据本发明的优选方面，薄膜腔的完全关闭通过以下确定：

a)测量测量体积中的压力，并监测所测量的压力是否超过预定义的阈值，以及

b)根据位置测量装置的测量信号检测薄膜腔的壁相对于彼此的相对位置。

当组合获得根据a)的压力测量信号和根据b)的位置测量信号时，检测薄膜腔的关闭状态。因此，本发明基于这样的思想：当组合地获得两个指示关闭状态的独立信号，即压力测量装置的相应测量信号和位置测量装置的信号时，检测到薄膜腔的关闭状态。因此，可以避免在未关闭薄膜腔的情况下根据无意中接触薄膜时所获得的压力测量信号而错误地检测到关闭状态的风险。此外，通过额外考虑在关闭薄膜腔的壁，即薄膜腔的密封件彼此接触时发生的压力波动，与仅通过根据b)的位置测量装置进行测量相比，关闭状态的检测精度得以提高。如果薄膜腔的密封件之间仍留有很小的残余间隙，尽管位置测量装置已经产生接触，但不会发生压力波动。

下面将参考附图详细说明本发明的示例性实施例，其中：

图1示出了处于打开状态的薄膜腔，并且