[发明专利]使用具有通风测量体积的薄膜腔进行泄漏测试的方法

权利要求书

1.一种使用用于容纳试样的薄膜腔测试试样是否存在泄漏的方法，其中，所述薄膜腔包括包围薄膜腔体积的壁，所述壁包括至少一个柔性壁区域，所述方法包括步骤：

将所述试样放入所述薄膜腔中，以及

关闭所述薄膜腔，

其中，根据位置测量装置的信号确定所述薄膜腔的完全关闭，所述位置测量装置检测所述薄膜腔的所述壁相对于彼此的相对位置；

其中，在所述柔性壁区域附近设有测量体积，所述测量体积构造成设置在所述柔性壁区域的与所述薄膜腔体积相对的一侧，并且朝向所述薄膜腔体积密封，其中，对所述测量体积进行监测，以便根据监测结果获得所述试样中可能的泄漏的大小，并且通过测量所述测量体积中的压力以及通过监测所测量的压力是否超过预定义的阈值检测所述薄膜腔的完全关闭，其中，只有当压力测量信号超过所述阈值且所述位置测量装置的位置测量信号对应于关闭状态时，才检测到所述薄膜腔的关闭状态；

其中，在确定所述薄膜腔关闭后，测试所述试样是否存在泄漏。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，在确定所述薄膜腔关闭之后，自动开始抽空所述薄膜腔和/或监测所述测量体积的步骤。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述位置测量装置为接触开关，或者所述位置测量装置用于测量所述薄膜腔的所述壁之间的距离。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，只有当压力测量和位置测量二者组合地检测到关闭状态时，才检测到所述薄膜腔的关闭状态。