[发明专利]光致抗蚀剂去除剂组合物在审
申请号: | 201980006779.9 | 申请日: | 2019-01-23 |
公开(公告)号: | CN111527453A | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 吴恒鹏;林观阳 | 申请(专利权)人: | 默克专利股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 陈晰 |
地址: | 德国达*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光致抗蚀剂 去除 组合 | ||
1.组合物,其基本由以下物质组成:
具有结构(I)的烷基苯磺酸,其中n为0-16的整数;
和溶剂,
所述溶剂选自由具有结构(II)的溶剂(其中R选自-(-O-CH2-CH2-)n’-OH、-OH和-O-C(=O)-CH3,其中n’等于1、2、3或4)、具有结构(III)的溶剂、具有结构(IV)的溶剂和具有结构(V)的溶剂组成的组,或选自该组的至少两种溶剂的溶剂混合物;
2.组合物,其基本由以下物质组成:
具有结构(I)的烷基苯磺酸,其中n为0-16的整数;
溶剂,所述溶剂选自由具有结构(II)的溶剂(其中R选自-(-O-CH2-CH2-)n’-OH、-OH和-O-C(=O)-CH3,其中n’等于1、2、3或4)、具有结构(III)的溶剂、具有结构(IV)的溶剂和具有结构(V)的溶剂组成的组,或选自该组的至少两种溶剂的溶剂混合物;和表面活性剂。
3.权利要求2的组合物,其中表面活性剂为具有结构(VI)的聚合物表面活性剂,其中n”’为聚合物重复单元的数量和na为CH2间隔基团的数量,其中na为8-14的整数;
4.权利要求3的组合物,其中所述聚合物表面活性剂具有结构(VIa)
5.根据权利要求1-4任一项的组合物,其中对所述烷基苯磺酸,n为8-16的整数。
6.根据权利要求1-5任一项的组合物,其中对所述烷基苯磺酸,n为8-14的整数。
7.根据权利要求1-6任一项的组合物,其中对所述烷基苯磺酸,n为8-10的整数。
8.根据权利要求1-7任一项的组合物,其中对于所述烷基苯磺酸,其具有结构(Ia)
9.根据权利要求1-4任一项的组合物,其中对于所述烷基苯磺酸,n为0-10的整数。
10.根据权利要求1-4任一项的组合物,其中对于所述烷基苯磺酸,n为0-5的整数。
11.根据权利要求1-4任一项的组合物,其中对于所述烷基苯磺酸,n为0-2的整数。
12.根据权利要求1-4任一项的组合物,其中对于所述烷基苯磺酸,其具有结构(Ib);
13.根据权利要求1-4任一项的组合物,其中所述烷基苯磺酸具有结构(Ic),其中nb为0-16的整数;
14.权利要求13的组合物,其中nb为10-14的整数。
15.权利要求13或14的组合物,其中nb为8-10的整数。
16.权利要求13-15任一项的组合物,其中所述烷基苯磺酸具有结构(Id);
17.权利要求13的组合物,其中nb为0-10的整数。
18.权利要求13的组合物,其中nb为0-5的整数。
19.权利要求13的组合物,其中所述烷基苯磺酸具有结构(Ie);
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