[发明专利]光致抗蚀剂去除剂组合物在审

专利信息
申请号: 201980006779.9 申请日: 2019-01-23
公开(公告)号: CN111527453A 公开(公告)日: 2020-08-11
发明(设计)人: 吴恒鹏;林观阳 申请(专利权)人: 默克专利股份有限公司
主分类号: G03F7/42 分类号: G03F7/42
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 陈晰
地址: 德国达*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 光致抗蚀剂 去除 组合
【权利要求书】:

1.组合物,其基本由以下物质组成:

具有结构(I)的烷基苯磺酸,其中n为0-16的整数;

和溶剂,

所述溶剂选自由具有结构(II)的溶剂(其中R选自-(-O-CH2-CH2-)n’-OH、-OH和-O-C(=O)-CH3,其中n’等于1、2、3或4)、具有结构(III)的溶剂、具有结构(IV)的溶剂和具有结构(V)的溶剂组成的组,或选自该组的至少两种溶剂的溶剂混合物;

2.组合物,其基本由以下物质组成:

具有结构(I)的烷基苯磺酸,其中n为0-16的整数;

溶剂,所述溶剂选自由具有结构(II)的溶剂(其中R选自-(-O-CH2-CH2-)n’-OH、-OH和-O-C(=O)-CH3,其中n’等于1、2、3或4)、具有结构(III)的溶剂、具有结构(IV)的溶剂和具有结构(V)的溶剂组成的组,或选自该组的至少两种溶剂的溶剂混合物;和表面活性剂。

3.权利要求2的组合物,其中表面活性剂为具有结构(VI)的聚合物表面活性剂,其中n”’为聚合物重复单元的数量和na为CH2间隔基团的数量,其中na为8-14的整数;

4.权利要求3的组合物,其中所述聚合物表面活性剂具有结构(VIa)

5.根据权利要求1-4任一项的组合物,其中对所述烷基苯磺酸,n为8-16的整数。

6.根据权利要求1-5任一项的组合物,其中对所述烷基苯磺酸,n为8-14的整数。

7.根据权利要求1-6任一项的组合物,其中对所述烷基苯磺酸,n为8-10的整数。

8.根据权利要求1-7任一项的组合物,其中对于所述烷基苯磺酸,其具有结构(Ia)

9.根据权利要求1-4任一项的组合物,其中对于所述烷基苯磺酸,n为0-10的整数。

10.根据权利要求1-4任一项的组合物,其中对于所述烷基苯磺酸,n为0-5的整数。

11.根据权利要求1-4任一项的组合物,其中对于所述烷基苯磺酸,n为0-2的整数。

12.根据权利要求1-4任一项的组合物,其中对于所述烷基苯磺酸,其具有结构(Ib);

13.根据权利要求1-4任一项的组合物,其中所述烷基苯磺酸具有结构(Ic),其中nb为0-16的整数;

14.权利要求13的组合物,其中nb为10-14的整数。

15.权利要求13或14的组合物,其中nb为8-10的整数。

16.权利要求13-15任一项的组合物,其中所述烷基苯磺酸具有结构(Id);

17.权利要求13的组合物,其中nb为0-10的整数。

18.权利要求13的组合物,其中nb为0-5的整数。

19.权利要求13的组合物,其中所述烷基苯磺酸具有结构(Ie);

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