[实用新型]一种切割效率高的半导体加工用切割装置有效

专利信息
申请号: 201922444112.7 申请日: 2019-12-30
公开(公告)号: CN211467025U 公开(公告)日: 2020-09-11
发明(设计)人: 郁迎春 申请(专利权)人: 泰成半导体精密(苏州)有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04
代理公司: 苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙) 32268 代理人: 严明
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 切割 效率 半导体 工用 装置
【权利要求书】:

1.一种切割效率高的半导体加工用切割装置,其特征在于,包括底座(1)、切割平台(2)、支撑架(3)与切割机构,所述底座(1)具有腔体,腔体内设置有输送电机(4),底座(1)顶部安装有切割平台(2);所述切割平台(2)上设置有输送组件(5),切割平台(2)端部固装有支撑架(3),输送组件(5)置于支撑架(3)内侧且由输送电机(4)通过传动带驱动,输送组件(5)包括通过皮带联动的皮带轮一与皮带轮二;所述切割机构装设于支撑架(3)底端部,切割机构包括支板(6)、固定板(7)、驱动组件(8)、切割组件(9)与凸轮(10),支板(6)、固定板(7)分别固装于支撑架(3)两侧,支板(6)顶端部开设有滑槽;所述滑槽上滑接有推板(12),推板(12)顶部设置有齿条(121),推板(12)靠近固定板(7)的一侧端部通过连接板(122)连接凸轮(10)。

2.根据权利要求1所述的一种切割效率高的半导体加工用切割装置,其特征在于:所述切割组件(9)包括导轨架一(91)、导轨架二(92)、刀片座(93)与切刀(94),导轨架一(91)固装于固定板(7),导轨架二(92)置于导轨架一(91)左侧且通过连接块连接支板(6)。

3.根据权利要求2所述的一种切割效率高的半导体加工用切割装置,其特征在于:所述导轨架一(91)、导轨架二(92)端部的槽道内滑接有刀片座(93),刀片座(93)底端安装有切刀(94)。

4.根据权利要求1所述的一种切割效率高的半导体加工用切割装置,其特征在于:所述支撑架(3)靠近凸轮(10)的端部安装有凸轮安装座(11),凸轮安装座(11)通过连接轴活动连接凸轮(10),且凸轮(10)下方接触刀片座(93)。

5.根据权利要求1所述的一种切割效率高的半导体加工用切割装置,其特征在于:所述驱动组件(8)包括电机(81)与齿轮(82),电机(81)通过支杆连接支撑架(3),电机(81)输出端连接齿轮(82)并驱动齿轮(82)啮合传动于齿条(121)。

6.根据权利要求1所述的一种切割效率高的半导体加工用切割装置,其特征在于:所述支撑架(3)一侧安装有与输送电机(4)、电机(81)连接的控制箱。

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