[实用新型]一种半导体加工用工作台有效

专利信息
申请号: 201922442196.0 申请日: 2019-12-30
公开(公告)号: CN211466313U 公开(公告)日: 2020-09-11
发明(设计)人: 郁迎春 申请(专利权)人: 泰成半导体精密(苏州)有限公司
主分类号: B25H1/10 分类号: B25H1/10;B25H1/16;H01L21/67;H01L21/687
代理公司: 苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙) 32268 代理人: 严明
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 工用 工作台
【权利要求书】:

1.一种半导体加工用工作台,包括支撑箱(1)和工作台(2),其特征在于:支撑箱(1)顶部设置有第一连接板(5),第一连接板(5)顶部设置有工作台(2),工作台(2)顶部一端设置有固定夹板(3),另一端设置有移动夹板(4),移动夹板(4)底部连接有多根连接柱(24),连接柱(24)穿过工作台(2)的顶板连接在第二螺母(22)的顶部,第二螺母(22)与水平设置的第二螺杆(21)螺纹连接,且第二螺杆(21)贯穿第二螺母(22)并延伸至第二螺母(22)的左右两端,第二螺杆(21)两端均设置有连接轴(15),其中一根连接轴(15)与工作台(2)内设置的轴孔连接,另一根连接轴(15)连接有转动轴(25),支撑箱(1)顶部一端设置有竖向的支撑柱(12),支撑柱(12)顶部通过连接轴(15)连接有伸缩管(13),伸缩管(13)一端设置有照明灯(14),照明灯(14)自带有电源连接线,支撑箱(1)底部设置有多根支撑垫脚。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用工作台,其特征在于:支撑箱(1)内设置有多根竖向设置的第一螺杆(7),每根第一螺杆(7)上均连接有第一螺母(9),每根第一螺杆(7)两端均设置有连接轴(15),支撑箱(1)内顶板底部设置有与第一螺杆(7)顶端的连接轴(15)配合的轴孔,第一螺杆(7)底端的连接轴(15)上设置有涡轮(11),每个第一螺母(9)的两端均设置有第二连接板(8),每块第二连接板(8)顶部均连接有竖向设置的滑杆(6),滑杆(6)顶端穿过支撑箱(1)的顶板和第一连接板(5)连接在工作台(2)的底部。

3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用工作台,其特征在于:支撑箱(1)内设置有多根蜗杆(10),蜗杆(10)两端均设置有连接轴(15),其中一根连接轴(15)穿过支撑箱(1)的侧板连接有转动盘(16),另一根连接轴(15)与支撑箱(1)侧板内壁上的轴孔连接,蜗杆(10)啮合连接有涡轮(11)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体加工用工作台,其特征在于:工作台(2)的顶板上设置有滑槽(23),且滑槽(23)与连接柱(24)滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体加工用工作台,其特征在于:工作台(2)内设置有安装槽,且第二螺杆(21)和第二螺母(22)均设置在安装槽内,工作台(2)一端通过螺栓连接有挡板,且转动轴(25)穿过挡板连接有转动把手。

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